一种应用于纳米级单点接触超低摩擦系数测量的矩形微悬臂梁探针设计及加工方法

    公开(公告)号:CN109406831B

    公开(公告)日:2021-02-19

    申请号:CN201710806553.X

    申请日:2017-09-08

    Abstract: 本发明提供了一种应用于纳米级单点接触超低摩擦系数测量的矩形微悬臂梁探针设计及加工方法,首先建立具有普适性的摩擦系数测量理论模型;再结合矩形微悬臂梁探针的结构特性,建立适用于矩形微悬臂梁探针的摩擦系数测量理论模型;在此基础上,结合摩擦系数分辨率、可加载的最大正压力或可测量的最小摩擦力以及原子力显微镜特性等约束条件,设计满足测量要求的矩形微悬臂梁探针;最后依据设计尺寸加工矩形微悬臂梁探针。采用本发明提出的方法设计、加工出的探针能够显著提高摩擦系数测量分辨率,实现0.0001及以上量级分辨率的超低摩擦系数测量,保证超滑过程定量分析的真实性和可靠性,为深入系统研究超滑理论和技术提供一种重要的测量手段。

    基于微悬臂投影的光电式加速度传感器

    公开(公告)号:CN106093469B

    公开(公告)日:2019-01-15

    申请号:CN201610382181.8

    申请日:2016-06-01

    Abstract: 一种基于微悬臂投影的光电式加速度传感器,包括不透明的矩形壳体(9)、封装在矩形壳体(9)底部的芯片和矩形壳体(9)侧壁上部固定的光源(8);其中,所述的芯片依次由基底(1)、下绝缘材料层(2)、光敏材料层(3)、微悬臂结构层(5)组成;其特征在于:所述的微悬臂结构层(5)的中部和上绝缘材料层(4)的中部为贯通的矩形空腔;空腔内的矩形质量块(7a)通过条状的微悬梁(7b)连接在微悬臂结构层(5)的空腔壁上构成异形微悬臂;且矩形质量块(7a)在微悬梁(7b)方向的长度小于或等于矩形空腔在微悬梁(7b)方向的长度的1/2。其灵敏度高、分辨率高、响应快、可靠性强、寿命长;且结构简单,体积小,成本低,易于批量化生产。

    基于微悬臂投影的光电式气敏传感器

    公开(公告)号:CN105973952A

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN201610392191.X

    申请日:2016-06-01

    CPC classification number: G01N27/26 G01N21/84

    Abstract: 一种基于微悬臂投影的光电式气敏传感器,包括不透明的矩形壳体(9)、封装在矩形壳体(9)底部的芯片和矩形壳体(9)侧壁上部固定的光源(8);其中,所述的芯片依次由基底(1)、下绝缘材料层(2)、光敏材料层(3)、微悬臂结构层(5)组成;其特征在于:所述的微悬臂结构层(5)的中部和上绝缘材料层(4)的中部为贯通的矩形空腔;矩形空腔内的矩形质量块(7a)通过条状的微悬梁(7b)连接在微悬臂结构层(5)靠近光源(8)一侧的空腔壁上,构成异形微悬臂;且矩形质量块(7a)的表面沉积了一层气敏材料层(7c)。该种光电式气敏传感器灵敏度高、分辨率好、响应快、成本低、且使用寿命长。

    一种应用于纳米级单点接触超低摩擦系数测量的矩形微悬臂梁探针设计及加工方法

    公开(公告)号:CN109406831A

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201710806553.X

    申请日:2017-09-08

    CPC classification number: G01Q60/26 G01Q60/38

    Abstract: 本发明提供了一种应用于纳米级单点接触超低摩擦系数测量的矩形微悬臂梁探针设计及加工方法,首先建立具有普适性的摩擦系数测量理论模型;再结合矩形微悬臂梁探针的结构特性,建立适用于矩形微悬臂梁探针的摩擦系数测量理论模型;在此基础上,结合摩擦系数分辨率、可加载的最大正压力或可测量的最小摩擦力以及原子力显微镜特性等约束条件,设计满足测量要求的矩形微悬臂梁探针;最后依据设计尺寸加工矩形微悬臂梁探针。采用本发明提出的方法设计、加工出的探针能够显著提高摩擦系数测量分辨率,实现0.0001及以上量级分辨率的超低摩擦系数测量,保证超滑过程定量分析的真实性和可靠性,为深入系统研究超滑理论和技术提供一种重要的测量手段。

    一种分布式光伏和牵引供电协同的电压不平衡补偿方法

    公开(公告)号:CN119419832A

    公开(公告)日:2025-02-11

    申请号:CN202411556177.X

    申请日:2024-11-04

    Abstract: 本发明提供了一种分布式光伏和牵引供电协同的电压不平衡补偿方法,属于分布式光伏和牵引供电协同技术领域,包括:将电网划分为多个子区域,并针对每个子区域采取了协同补偿策略。具体来说,首先确定每个子区域内牵引供电系统补偿装置SVG和光伏场站需要输出的补偿功率,以降低电压不平衡度。接着,采用改进的多智能体一致性算法优化每个光伏场站内各个光伏变流器的补偿功率输出。在此基础上,分别计算补偿前后公共耦合点的负序电流和电压不平衡度,得到电压不平衡度的约束条件。最后,将该约束条件作为参考,利用改进的多智能体一致性算法,确定每个光伏变流器的具体补偿功率和补偿电流,从而实现对所有公共耦合点电压不平衡度的精准补偿。

    基于微悬臂投影的光电式加速度传感器

    公开(公告)号:CN106093469A

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201610382181.8

    申请日:2016-06-01

    CPC classification number: G01P15/093

    Abstract: 一种基于微悬臂投影的光电式加速度传感器,包括不透明的矩形壳体(9)、封装在矩形壳体(9)底部的芯片和矩形壳体(9)侧壁上部固定的光源(8);其中,所述的芯片依次由基底(1)、下绝缘材料层(2)、光敏材料层(3)、微悬臂结构层(5)组成;其特征在于:所述的微悬臂结构层(5)的中部和上绝缘材料层(4)的中部为贯通的矩形空腔;空腔内的矩形质量块(7a)通过条状的微悬梁(7b)连接在微悬臂结构层(5)的空腔壁上构成异形微悬臂;且矩形质量块(7a)在微悬梁(7b)方向的长度小于或等于矩形空腔在微悬梁(7b)方向的长度的1/2。其灵敏度高、分辨率高、响应快、可靠性强、寿命长;且结构简单,体积小,成本低,易于批量化生产。

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