一种两相结构复合材料的脆塑转变深度获取方法

    公开(公告)号:CN116592784A

    公开(公告)日:2023-08-15

    申请号:CN202310550364.6

    申请日:2023-05-16

    IPC分类号: G01B11/22 G01B11/24

    摘要: 本发明公开的一种两相结构复合材料的脆塑转变深度获取方法,通过金相显微镜拍摄划痕表面形貌显微图,由划痕表面形貌显微图确定划痕中的第一个小凹坑位置以及第一个大凹坑位置,然后测量标尺分别测量两个位置与划痕切入位置的距离,通过白光干涉仪拍摄划痕沟槽得到三维形貌。根据所述测量标尺获得的距离确定脆塑转变区的起点(第一个小凹坑)和终点(第一个大凹坑位置),取该位置处的划痕横截面轮廓曲线并测量沟槽深度。本发明以显微镜拍摄的显微形貌和白光干涉仪拍摄得到的三维形貌相结合来准确判断材料发生脆塑转变的位置并测量深度,能够避免因两相结构复合材料本身缺陷或表面杂质灰尘带来的干扰,有效的提高测试结果的精度。

    一种复杂曲面超声振动辅助CMP的超声装置

    公开(公告)号:CN116493233A

    公开(公告)日:2023-07-28

    申请号:CN202310175742.7

    申请日:2023-02-28

    IPC分类号: B06B1/06 B06B3/02 B24B1/04

    摘要: 本发明公开的一种复杂曲面超声振动辅助CMP的超声装置,包括:连接外壳、前盖板、超声振子、散热装置,所述前盖板、连接外壳、散热装置依次连接,所述超声振子连接在所述前盖板末端,所述超声振子与散热装置均与外接动力源的转轴连接,所述前盖板为三段变幅杆结构,所述三段变幅杆结构的中间段盖体是母线为指数函数的圆台结构,所述中间段盖体两端连接有柱状结构与之共同构成三段变幅杆结构,本发明选用指数型结构可以在获得足够振幅的情况下保证频率获得最小的内应力,满足前述两点后充分保证了系统的稳定性,并且取得了最短的轴向尺寸,与现有技术中多级变幅杆相比稳定性更佳。

    超声空化辅助淹没脉动气射流抛光系统

    公开(公告)号:CN114952635A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210604223.3

    申请日:2022-05-30

    IPC分类号: B24C3/32 B24C9/00 B24C7/00

    摘要: 本发明公开了一种超声空化辅助淹没脉动气射流抛光系统,用于对工件在浸没状态下进行抛光,包括脉动气射流喷射装置、超声施加装置、作业箱体:脉动气射流喷射装置,包括用于向喷嘴实施脉冲供气的管路,喷嘴以一定角度朝向工件;超声施加装置,包括配合设置的超声换能器和超声聚能器,超声聚能器至少在工作状态下向工件聚焦超声波;超声波在工件上聚焦形成汇集区域,喷嘴在工件上形成冲击区域,汇集区域和冲击区域至少部分重合。本发明优化了抛光系统方案,综合超声空化以及气射流技术,满足不同表面的抛光需求,有效改善了抛光质量和效率。

    基于划痕诱导选择性刻蚀的微流控SERS芯片制备方法

    公开(公告)号:CN114184597A

    公开(公告)日:2022-03-15

    申请号:CN202111523663.8

    申请日:2021-12-14

    IPC分类号: G01N21/65 B01L3/00

    摘要: 本发明公开了一种基于划痕诱导选择性刻蚀的微流控SERS芯片制备方法,包括以下步骤:S1、衬底预处理;S2、掩膜制备及图案化;S3、活性基底制备;S4、微流控SERS芯片封装,制备得到微流控SERS芯片;通过刻划结合金属辅助化学刻蚀在半导体衬底上简单快捷地制备出具有嵌套结构的微通道,嵌套结构经沉积金属颗粒即可形成微流道中具有拉曼光谱增强效果的活性基底。总体而言,本发明所述加工方法具有工艺简单、加工效率高、成本低的特点,可规模化生产。本发明所制备的微流控SERS芯片具有较高的表面增强拉曼光谱活性、能实现对纳摩尔浓度生化物质的快速、高效、高灵敏度检测,具有很强的实用价值和广阔的应用前景,值得在业内推广。

    一种源于石墨烯边缘的微纳结构扫描探针加工方法

    公开(公告)号:CN111060720B

    公开(公告)日:2021-09-28

    申请号:CN201911364182.X

    申请日:2019-12-26

    IPC分类号: G01Q70/16 B81C1/00 B82Y40/00

    摘要: 本发明公开一种源于石墨烯边缘的微纳结构扫描探针加工方法,应用于石墨烯微纳加工领域,针对现有技术不能完全满足对未来柔性器件的高可靠,高稳定和低成本的极限加工要求;本发明选用具有较强表面化学活性的探针作为加工工具,按照设定加工轨迹从石墨烯边缘向内部进行刻划加工,利用刻划加工过程中探针与石墨烯边缘碳原子之间的摩擦化学反应,在低于石墨烯机械破坏强度的低接触压力下去除接触区域碳原子,采用本发明方法加工的微纳结构的机械和电学性能与石墨烯基体一致。