公开(公告)号：CN112499581B

公开(公告)日：2023-07-04

申请号：CN202011266405.1

申请日：2020-11-12

申请人： 西安交通大学

发明人： 牛刚 ,  武和平 ,  任巍 ,  赵刚 ,  姜陆月 ,  赵金燕 ,  张易军 ,  赵慧丰 ,  代立言 ,  王哲 ,  余雯瑾 ,  谢瑱

IPC分类号： B81C1/00 ,  G01N21/65

摘要： 本发明公开了一种表面增强拉曼散射衬底的制备方法，包括：在SiO2/Si(001)衬底上制备密排单层纳米微球二维胶体晶体层；减小纳米微球的直径；在样品表面沉积一层金属薄膜；剥离微球二维胶体晶体层；采用干法刻蚀SiO2层；采用湿法刻蚀Si(001)衬底，形成倒金字塔结构；使用腐蚀溶液剥离SiO2和金属掩模层，得到带倒金字塔结构的Si模板；在Si模板上制备贵金属薄膜；使用胶黏剂将贵金属薄膜转移到新衬底上，金字塔结构外露；在贵金属金字塔表面转移一层石墨烯。本发明的方法使用了胶体光刻和微纳加工两种方法，成功制备了金字塔型SERS衬底；所制备的衬底在大尺度范围内纳米金字塔结构分布均匀，同时具有高灵敏性和通用性。

公开(公告)号：CN112499581A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN202011266405.1

申请日：2020-11-12

申请人： 西安交通大学

发明人： 牛刚 ,  武和平 ,  任巍 ,  赵刚 ,  姜陆月 ,  赵金燕 ,  张易军 ,  赵慧丰 ,  代立言 ,  王哲 ,  余雯瑾 ,  谢瑱

IPC分类号： B81C1/00 ,  G01N21/65

摘要： 本发明公开了一种表面增强拉曼散射衬底的制备方法，包括：在SiO2/Si(001)衬底上制备密排单层纳米微球二维胶体晶体层；减小纳米微球的直径；在样品表面沉积一层金属薄膜；剥离微球二维胶体晶体层；采用干法刻蚀SiO2层；采用湿法刻蚀Si(001)衬底，形成倒金字塔结构；使用腐蚀溶液剥离SiO2和金属掩模层，得到带倒金字塔结构的Si模板；在Si模板上制备贵金属薄膜；使用胶黏剂将贵金属薄膜转移到新衬底上，金字塔结构外露；在贵金属金字塔表面转移一层石墨烯。本发明的方法使用了胶体光刻和微纳加工两种方法，成功制备了金字塔型SERS衬底；所制备的衬底在大尺度范围内纳米金字塔结构分布均匀，同时具有高灵敏性和通用性。