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公开(公告)号：CN104998704A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201510455488.1
申请日：2015-07-29
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： B01L3/00
摘要： 本发明所述的一种基于压电薄膜泵的集成液滴生成芯片及其制作方法，包括盖板、压电膜、通道层及基板，盖板、压电膜、通道层及基板自上到下依次相连接；所述压电膜的上表面及下表面均设有镀膜区，所述镀膜区由水相压电薄膜泵的工作区电极、油相压电薄膜泵的工作区电极及导通区域；通道层包括液滴通道、水相压电薄膜泵工作区通孔、油相压电薄膜泵工作区通孔、两个储液池通孔、收液池通孔及第一通道槽孔、第二通道槽孔、第三通道槽孔、第四通道槽孔及若干电极引出孔；所述盖板上开设有两个第一通孔、两个第二通孔、第三通孔及若干个第四通孔；该芯片的控制精度高，并且制备方法简单。
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公开(公告)号：CN104998704B
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201510455488.1
申请日：2015-07-29
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： B01L3/00
摘要： 本发明所述的一种基于压电薄膜泵的集成液滴生成芯片及其制作方法，包括盖板、压电膜、通道层及基板，盖板、压电膜、通道层及基板自上到下依次相连接；所述压电膜的上表面及下表面均设有镀膜区，所述镀膜区由水相压电薄膜泵的工作区电极、油相压电薄膜泵的工作区电极及导通区域；通道层包括液滴通道、水相压电薄膜泵工作区通孔、油相压电薄膜泵工作区通孔、两个储液池通孔、收液池通孔及第一通道槽孔、第二通道槽孔、第三通道槽孔、第四通道槽孔及若干电极引出孔；所述盖板上开设有两个第一通孔、两个第二通孔、第三通孔及若干个第四通孔；该芯片的控制精度高，并且制备方法简单。
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公开(公告)号：CN104533762A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201410787635.0
申请日：2014-12-17
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开了一种压电薄膜泵及其制作方法，自上到下包括盖板、压电膜、通道层及基板，盖板、压电膜、通道层及基板之间固定连接，压电膜的上表面及下表面对应镀有导电膜区，导电膜区包括压电薄膜泵的工作区电极以及与压电薄膜泵的工作区电极相连接的导通区域。盖板上开设有第一通孔，第一通孔正对压电膜上对应的压电薄膜泵的工作区电极，通道层上开设有流体通道，流体通道的一端与外界相连通，流体通道包括第二通孔、储液池通孔、收液池通孔及通道槽孔，所述第二通孔正对第一通孔，第二通孔与收液池通孔及储液池通孔之间均通过通道槽孔相连通。制作方法简单方便，在整个制作过程中完全可以不需要昂贵的设备，完全可以广泛推广，实用性强。
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公开(公告)号：CN104533762B
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201410787635.0
申请日：2014-12-17
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开了一种压电薄膜泵及其制作方法，自上到下包括盖板、压电膜、通道层及基板，盖板、压电膜、通道层及基板之间固定连接，压电膜的上表面及下表面对应镀有导电膜区，导电膜区包括压电薄膜泵的工作区电极以及与压电薄膜泵的工作区电极相连接的导通区域。盖板上开设有第一通孔，第一通孔正对压电膜上对应的压电薄膜泵的工作区电极，通道层上开设有流体通道，流体通道的一端与外界相连通，流体通道包括第二通孔、储液池通孔、收液池通孔及通道槽孔，所述第二通孔正对第一通孔，第二通孔与收液池通孔及储液池通孔之间均通过通道槽孔相连通。制作方法简单方便，在整个制作过程中完全可以不需要昂贵的设备，完全可以广泛推广，实用性强。
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