公开(公告)号：CN109112492A

公开(公告)日：2019-01-01

申请号：CN201810813908.2

申请日：2018-07-23

申请人： 西安交通大学 ,  西安核理科技有限公司

发明人： 王洁 ,  王盛 ,  游志明 ,  徐思涵 ,  范佳锟 ,  许章炼

IPC分类号： C23C14/35 ,  C23C14/56

CPC分类号： C23C14/35 ,  C23C14/56

摘要： 本发明公开了一种适用于多根窄细管道内表面镀膜的装置，包括真空腔室、涡轮分子泵、阴极丝、第一电源及第二电源；真空腔室一端的侧面沿周向设置有若干进气口，真空腔室另一端的侧面设置有排气口及用于检测真空腔室真空度的真空计，涡轮分子泵与所述排气口相连通，真空腔室内设置有支撑架，各窄细管道依次固定于支撑架上，阴极丝的一端与第一电源相连接，阴极丝的另一端插入于真空腔室内后穿过各窄细管道，真空腔室的外壁上设置有电磁线圈，第二电源与所述电磁线圈相连接，该装置能够实现多个窄细管道的镀膜，并且薄膜的均匀性较好，镀膜的效率高。

公开(公告)号：CN109112492B

公开(公告)日：2021-01-19

申请号：CN201810813908.2

申请日：2018-07-23

申请人： 西安交通大学

发明人： 王洁 ,  王盛 ,  游志明 ,  徐思涵 ,  范佳锟 ,  许章炼

IPC分类号： C23C14/35 ,  C23C14/56

摘要： 本发明公开了一种适用于多根窄细管道内表面镀膜的装置，包括真空腔室、涡轮分子泵、阴极丝、第一电源及第二电源；真空腔室一端的侧面沿周向设置有若干进气口，真空腔室另一端的侧面设置有排气口及用于检测真空腔室真空度的真空计，涡轮分子泵与所述排气口相连通，真空腔室内设置有支撑架，各窄细管道依次固定于支撑架上，阴极丝的一端与第一电源相连接，阴极丝的另一端插入于真空腔室内后穿过各窄细管道，真空腔室的外壁上设置有电磁线圈，第二电源与所述电磁线圈相连接，该装置能够实现多个窄细管道的镀膜，并且薄膜的均匀性较好，镀膜的效率高。