公开(公告)号：CN107326361B

公开(公告)日：2020-08-28

申请号：CN201710572256.3

申请日：2017-07-13

申请人： 西安交通大学

发明人： 张虹虹 ,  何卫锋 ,  李应红 ,  何光宇 ,  廖斌 ,  杨竹芳

IPC分类号： C23C28/00 ,  C23C14/14 ,  C23C14/06 ,  C23C14/48 ,  C23C14/54 ,  C23C14/32 ,  C23C14/35

摘要： 本发明公开了具有高抗砂尘冲蚀性能的梯度多层复合涂层结构，所述涂层结构集离子注入结构、梯度结构和多层结构于一体，从基体到涂层表面依次含有离子注入结合层以及由Ti金属层、Ti→TiN梯度层、TiN陶瓷层和TiN→Ti梯度层循环叠加组成的结构。此外，本发明公开了上述复合涂层结构的制备方法：采用金属真空蒸汽离子源注入方法在基体表面进行离子注入，形成离子注入结合层；在结合层之上，采用磁过滤阴极真空弧沉积方法，通过连续控制输入的N2流量，依次循环地沉积由Ti金属层、Ti→TiN梯度层、TiN陶瓷层以及TiN→Ti梯度层组成的结构。该梯度多层复合涂层结构兼具有较高的硬度和良好的膜基结合强度，适用于航空发动机压气机叶片的砂尘防护。

公开(公告)号：CN107326361A

公开(公告)日：2017-11-07

申请号：CN201710572256.3

申请日：2017-07-13

申请人： 西安交通大学

发明人： 张虹虹 ,  何卫锋 ,  李应红 ,  何光宇 ,  廖斌 ,  杨竹芳

IPC分类号： C23C28/00 ,  C23C14/14 ,  C23C14/06 ,  C23C14/48 ,  C23C14/54 ,  C23C14/32 ,  C23C14/35

CPC分类号： C23C28/322 ,  C23C14/0617 ,  C23C14/14 ,  C23C14/325 ,  C23C14/35 ,  C23C14/48 ,  C23C14/54 ,  C23C28/34

摘要： 本发明公开了具有高抗砂尘冲蚀性能的梯度多层复合涂层结构，所述涂层结构集离子注入结构、梯度结构和多层结构于一体，从基体到涂层表面依次含有离子注入结合层以及由Ti金属层、Ti→TiN梯度层、TiN陶瓷层和TiN→Ti梯度层循环叠加组成的结构。此外，本发明公开了上述复合涂层结构的制备方法：采用金属真空蒸汽离子源注入方法在基体表面进行离子注入，形成离子注入结合层；在结合层之上，采用磁过滤阴极真空弧沉积方法，通过连续控制输入的N2流量，依次循环地沉积由Ti金属层、Ti→TiN梯度层、TiN陶瓷层以及TiN→Ti梯度层组成的结构。该梯度多层复合涂层结构兼具有较高的硬度和良好的膜基结合强度，适用于航空发动机压气机叶片的砂尘防护。