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公开(公告)号：CN115770720A
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202211527622.0
申请日：2022-11-30
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开了一种具有隔离凹槽低应力双压电层结构的PMUT及其工作和制备方法，PMUT自上而下包括圆形多层复合薄膜、绝缘层、上基底、键合层和下基底。多层复合薄膜包括上压电层、下压电层、上电极层、中电极层和下电极层多层复合薄膜上具有同心的环形凹槽，并覆盖整个空腔的区域。本发明在有效降低PMUT单元间串扰、减小薄膜应力的同时实现薄膜内压电驱动弯矩的大幅增加，进而实现超声发射和接收性能提升，以满足小管径流量检测应用对低功耗、高性能超声换能器的迫切需求。
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公开(公告)号：CN101352622A
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200810151002.5
申请日：2008-09-17
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明涉及血液分离装置和分离方法，尤其涉及一种滤除白细胞的血液分离装置和分离方法。血液分离装置，包括柱塞泵装置，驱动柱塞泵装置的步进电机及控制器，分离盒，原血袋，与分离盒输液出口连通的真空袋以及与分离盒废液出口连通的废液袋，其特征在于，柱塞泵装置进出口、分离盒输液入口、原血袋通过三通接头相互连通；将所述原血袋置于高处进行血液分离，控制步进电机，柱塞泵的活塞杆往复运动，血液脉动流动，同时收集滤过血液。
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公开(公告)号：CN101279200A
公开(公告)日：2008-10-08
申请号：CN200810018138.9
申请日：2008-05-06
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明涉及血液分离装置，公开了一种滤除白细胞的血液分离装置及其制作方法。该分离装置包括依次叠置密封安装在一起的接收板、滤板和盖板，所述滤板采用SU－8感光胶材料，所述盖板和接收板采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料，所述盖板的下表面设置有输液槽，输液槽两端分别设置通孔引出盖板，作为输液入口和废液出口，所述滤板与所述输液槽对应的位置设置有滤孔，所述接收板的上表面设置有回收腔，回收腔设置有输液出口。该分离装置采用有机材料微光刻技术，血液通道表面光滑对红细胞无伤害，滤板的滤孔尺寸精度高，对血液中白细胞滤除彻底、效果好。
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公开(公告)号：CN115200776B
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202210870988.1
申请日：2022-07-22
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开了一种高频响微差压传感器芯片结构与制备方法，所述芯片结构包括承压膜片层、应力检测层与玻璃封装层，承压膜片层包括压力膜片和芯片固支端；应力检测层包括固定膜片、应力检测单元和锚点，压力膜片与固定膜片之间具有间隙，应力检测单元包括刚体模块、受压检测梁和受拉检测梁；锚点通过应力检测单元与固定膜片连接。本发明采用压力膜片与应力检测单元分离的结构，当传感器压力膜片底部受到压力载荷时，受压检测梁与受拉检测梁产生较大的应力集中，位于检测梁上的压敏电阻阻值发生较大变化，提升了传感器测量灵敏度。此外，该结构承压膜片与应力检测层分离，在保证测量灵敏度的同时，大大提升了固有频率。
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公开(公告)号：CN115973992A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202211714828.4
申请日：2022-12-29
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开了基于MEMS的耐高温柔性流速传感器芯片及其制备方法，所述流速传感器芯片包括柔性衬底和布置在柔性衬底上的温度补偿电阻对、测温电阻对和加热电阻，所述柔性衬底背面开设有空腔。本发明在热电阻周围对称布置测温电阻对，通过公用中央的加热电阻的方式，实现热损失和热温差两种测温原理的结合，有效提高了传感器的测速范围，该MEMS热式流速传感器具有测量范围广，具备更广泛的应用领域。本发明所述的传感器芯片的制备方法，制作方法简单、可靠性高、易于批量化生产、成本低。
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公开(公告)号：CN115200776A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210870988.1
申请日：2022-07-22
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开了一种高频响微差压传感器芯片结构与制备方法，所述芯片结构包括承压膜片层、应力检测层与玻璃封装层，承压膜片层包括压力膜片和芯片固支端；应力检测层包括固定膜片、应力检测单元和锚点，压力膜片与固定膜片之间具有间隙，应力检测单元包括刚体模块、受压检测梁和受拉检测梁；锚点通过应力检测单元与固定膜片连接。本发明采用压力膜片与应力检测单元分离的结构，当传感器压力膜片底部受到压力载荷时，受压检测梁与受拉检测梁产生较大的应力集中，位于检测梁上的压敏电阻阻值发生较大变化，提升了传感器测量灵敏度。此外，该结构承压膜片与应力检测层分离，在保证测量灵敏度的同时，大大提升了固有频率。
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公开(公告)号：CN115148893A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210901455.5
申请日：2022-07-28
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开了一种具有弯曲和扭转变形功能的柔性PMUTs及其制备方法，包括柔性基底和设置于柔性基底上的若干换能单元，各换能单元之间是相互独立的，具体是指各单元的结构层、柔性下电极、下压电层、柔性中间电极、上压电层和柔性上电极是相互独立的，各换能单元之间仅靠柔性材料连接，在器件弯曲、拉伸及扭转时，柔性材料被拉伸或压缩，产生较大形变，而各单元的压电层和结构层几乎不产生形变，不会导致上压电层、下压电层和结构层破断裂，从而在实现器件整体的高柔性和可拉伸性的同时保证各PMUTs单元性能不受影响。本发明的柔性PMUTs可采用全MEMS工艺进行制作，可在实现制作具有弯曲和扭转功能PMUTs的同时，保证器件的高灵敏度和单元密度。
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公开(公告)号：CN101352622B
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN200810151002.5
申请日：2008-09-17
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明涉及血液分离装置和分离方法，尤其涉及一种滤除白细胞的血液分离装置和分离方法。血液分离装置，包括柱塞泵装置，驱动柱塞泵装置的步进电机及控制器，分离盒，原血袋，与分离盒输液出口连通的真空袋以及与分离盒废液出口连通的废液袋，其特征在于，柱塞泵装置进出口、分离盒输液入口、原血袋通过三通接头相互连通；将所述原血袋置于高处进行血液分离，控制步进电机，柱塞泵的活塞杆往复运动，血液脉动流动，同时收集滤过血液。
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公开(公告)号：CN105771015A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201610102092.3
申请日：2016-02-24
申请人： 西安交通大学
CPC分类号： A61M1/362 , A61M1/3679 , A61M2205/02 , A61M2207/00 , B82Y30/00 , C12N5/0693
摘要： 本发明提供了一种用于循环肿瘤细胞捕获的三维仿生纳米材料及其制备方法，该材料由多孔石墨烯、硅微球、硅基底三种材料组成，以静电吸附自组装而成三维阵列结构，经过对石墨烯和硅微球表面进行化学改性，分别修饰固定用于细胞捕获的E?selectin蛋白分子和配体，实现了强化细胞识别的仿生结构；该材料可集成于微流控芯片中，增强芯片对循环肿瘤细胞的识别和捕获，提高分离效率并有利于对捕获细胞的检测分析；改变固定的识别配体，也可用于对不同类型细胞的有效捕获，可从外周血样中识别并捕获稀有的肿瘤细胞。
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公开(公告)号：CN101279200B
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN200810018138.9
申请日：2008-05-06
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明涉及血液分离装置，公开了一种滤除白细胞的血液分离装置及其制作方法。该分离装置包括依次叠置密封安装在一起的接收板、滤板和盖板，所述滤板采用SU-8感光胶材料，所述盖板和接收板采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料，所述盖板的下表面设置有输液槽，输液槽两端分别设置通孔引出盖板，作为输液入口和废液出口，所述滤板与所述输液槽对应的位置设置有滤孔，所述接收板的上表面设置有回收腔，回收腔设置有输液出口。该分离装置采用有机材料微光刻技术，血液通道表面光滑对红细胞无伤害，滤板的滤孔尺寸精度高，对血液中白细胞滤除彻底、效果好。
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