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公开(公告)号：CN113203705B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202110365971.6
申请日：2021-04-06
申请人： 西安工业大学
摘要： 本发明为一种可实现光路快速调节测试的双折射式纹影系统及方法，其克服了现有技术中存在无法实现纹影装置快速且精确测试的问题，不仅解决了纹影系统的装置调节问题，并且可以直接使用点光源进行纹影实验测试。本发明包括依次设置的十字线光源，“十”字形标定光线与前置可变光阑适配模块，凸透镜一，凹球面镜一，凹球面镜二，凸透镜二，刀口装置和高速摄像相机；凹球面镜一与凹球面镜二之间设置测试对象。“十”字形标定光线与前置可变光阑适配模块包括前置可变光阑，十字线光源发出的“十”字形光线通过前置可变光阑得到“十”字形标定光线；“十”字形标定光线穿过前置可变光阑得到用于纹影实验的点光源。
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公开(公告)号：CN112935528A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110125403.9
申请日：2021-01-29
申请人： 西安工业大学
IPC分类号： B23K26/04 , B23K26/06 , B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/70
摘要： 本发明属于半导体技术领域，具体涉及一种针对厚度较大晶圆进行高质量切割的方法和装置。以解决现有技术对厚晶圆的材料有厚度有要求、切割速度慢，崩边严重的问题。本发明采用的技术方案为：让不同波长的激光分别聚焦在厚晶圆不同位置，以厚晶圆内部热应力膨胀，辅助表面晶格断裂的方式，让应力及时向外传导，从而实现厚晶圆快速、高质量的切割。
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公开(公告)号：CN111599669A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010397246.2
申请日：2020-05-12
申请人： 西安工业大学
IPC分类号： H01L21/288 , H01L21/28
摘要： 本发明涉及一种适用于发热涂层材料欧姆电极的制作方法。为防止制作发热涂层材料的欧姆电极的触点接触不良、触电打火或者引出线脱离电极等引起的损坏和安全事故，本发明的制作方法为处理好基底，在要制作欧姆电极的区域使用手持式低温等离子体发生器进行轰击，或放置金属微孔阵列板，使用低温等离子体在真空条件下轰击陶瓷基底，在陶瓷表面形成微孔阵列；涂覆碳基材料，并使浆料沉积进入小孔，在真空条件下进行梯度加热；碳基材料固化后，涂覆一层高纯导电银浆，将多芯铜丝附着在小孔上，再次涂覆导电银浆，使导电银浆与小孔内壁充分接触，在真空条件下进行梯度加热，制作完成一种接触稳定，比接触面积大，引出线抗拉强度大的电极。
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公开(公告)号：CN111521070A
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN202010354323.6
申请日：2020-04-29
申请人： 西安工业大学
摘要： 本发明公开一种碳基低压点火开关制备的方法，首先是基底毛化处理，使用绿光或紫外激光装置，在陶瓷基底上进行激光毛化处理，得到粗糙度为一定值；然后进行碳基材料复合材料的制作和配比，用丝网印刷或者喷涂的方式将碳基复合材料涂敷到陶瓷基底上，进行梯度温度处理；最后温度处理后用激光技术切割成不同的形状，涂上导电银浆后加上电极通电，测试不同配料、不同形状的点火开关的发热性能。经实验表明，通过本发明方法制得的碳基低压点火开关具有可靠的点火能力，相比于桥丝火工品和半导体桥火工品，其具有制备方法简便、成本低廉等优点。
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公开(公告)号：CN112935528B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202110125403.9
申请日：2021-01-29
申请人： 西安工业大学
IPC分类号： B23K26/04 , B23K26/06 , B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/70
摘要： 本发明属于半导体技术领域，具体涉及一种针对厚度较大晶圆进行高质量切割的方法和装置。以解决现有技术对厚晶圆的材料有厚度有要求、切割速度慢，崩边严重的问题。本发明采用的技术方案为：让不同波长的激光分别聚焦在厚晶圆不同位置，以厚晶圆内部热应力膨胀，辅助表面晶格断裂的方式，让应力及时向外传导，从而实现厚晶圆快速、高质量的切割。
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公开(公告)号：CN111599669B
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202010397246.2
申请日：2020-05-12
申请人： 西安工业大学
IPC分类号： H01L21/288 , H01L21/28
摘要： 本发明涉及一种适用于发热涂层材料欧姆电极的制作方法。为防止制作发热涂层材料的欧姆电极的触点接触不良、触电打火或者引出线脱离电极等引起的损坏和安全事故，本发明的制作方法为处理好基底，在要制作欧姆电极的区域使用手持式低温等离子体发生器进行轰击，或放置金属微孔阵列板，使用低温等离子体在真空条件下轰击陶瓷基底，在陶瓷表面形成微孔阵列；涂覆碳基材料，并使浆料沉积进入小孔，在真空条件下进行梯度加热；碳基材料固化后，涂覆一层高纯导电银浆，将多芯铜丝附着在小孔上，再次涂覆导电银浆，使导电银浆与小孔内壁充分接触，在真空条件下进行梯度加热，制作完成一种接触稳定，比接触面积大，引出线抗拉强度大的电极。
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公开(公告)号：CN113203705A
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202110365971.6
申请日：2021-04-06
申请人： 西安工业大学
摘要： 本发明为一种可实现光路快速调节测试的双折射式纹影系统及方法，其克服了现有技术中存在无法实现纹影装置快速且精确测试的问题，不仅解决了纹影系统的装置调节问题，并且可以直接使用点光源进行纹影实验测试。本发明包括依次设置的十字线光源，“十”字形标定光线与前置可变光阑适配模块，凸透镜一，凹球面镜一，凹球面镜二，凸透镜二，刀口装置和高速摄像相机；凹球面镜一与凹球面镜二之间设置测试对象。“十”字形标定光线与前置可变光阑适配模块包括前置可变光阑，十字线光源发出的“十”字形光线通过前置可变光阑得到“十”字形标定光线；“十”字形标定光线穿过前置可变光阑得到用于纹影实验的点光源。
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