公开(公告)号：CN102820038A

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN201210182781.1

申请日：2012-06-05

申请人： 西部数据(弗里蒙特)公司

发明人： M·蒋 ,  R·周 ,  G·罗 ,  M·大杉 ,  D·杨

IPC分类号： G11B5/10 ,  G11B5/127

CPC分类号： G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/315 ,  G11B5/3163

摘要： 本发明涉及一种制造用于数据存储系统的磁记录换能器的过程，该过程包括提供衬底、下层以及在下层上沉积至第一厚度并与所述下层接触的第一非磁性中间层，在第一中间层的第一部分上执行第一扫描抛光以平面化第一中间层的第一部分至第二厚度，在平面化的第一中间层的第一部分中提供主磁极，提供位于第一中间层的第一部分上并与其接触的光阻材料的第一图案，该图案包括限定侧面护罩沟槽的孔隙，执行湿蚀刻以去除第一中间层的至少部分从而暴露多个主磁极侧面中的至少一个，以及在侧面护罩沟槽中沉积侧面护罩材料。

公开(公告)号：CN102820038B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201210182781.1

申请日：2012-06-05

申请人： 西部数据(弗里蒙特)公司

发明人： M·蒋 ,  R·周 ,  G·罗 ,  M·大杉 ,  D·杨

IPC分类号： G11B5/10 ,  G11B5/127

CPC分类号： G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/315 ,  G11B5/3163

摘要： 本发明涉及一种制造用于数据存储系统的磁记录换能器的过程，该过程包括提供衬底、下层以及在下层上沉积至第一厚度并与所述下层接触的第一非磁性中间层，在第一中间层的第一部分上执行第一扫描抛光以平面化第一中间层的第一部分至第二厚度，在平面化的第一中间层的第一部分中提供主磁极，提供位于第一中间层的第一部分上并与其接触的光阻材料的第一图案，该图案包括限定侧面护罩沟槽的孔隙，执行湿蚀刻以去除第一中间层的至少部分从而暴露多个主磁极侧面中的至少一个，以及在侧面护罩沟槽中沉积侧面护罩材料。