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公开(公告)号：CN110178087B
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN201780083474.9
申请日：2017-12-04
申请人： 西默有限公司 , ASML荷兰有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种方法包括：产生由具有深紫外范围中的波长的脉冲构成的光束，每个脉冲具有由第一时间相干长度定义的第一时间相干性，并且每个脉冲由脉冲持续时间定义；对于一个或多个脉冲，在脉冲的脉冲持续时间上调制光学相位以产生具有由第二时间相干长度定义的第二时间相干性的修改的脉冲，该第二时间相干长度小于脉冲的第一时间相干长度；至少从修改的脉冲形成脉冲光束；并且将形成的脉冲光束朝向光刻曝光设备内的衬底引导。
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公开(公告)号：CN113703287A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202111015096.5
申请日：2017-12-04
申请人： 西默有限公司 , ASML荷兰有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种减少准分子光源中的散斑的方法包括：产生由具有深紫外范围中的波长的脉冲构成的光束，每个脉冲具有由第一时间相干长度定义的第一时间相干性，并且每个脉冲由脉冲持续时间定义；对于一个或多个脉冲，在脉冲的脉冲持续时间上调制光学相位以产生具有由第二时间相干长度定义的第二时间相干性的修改的脉冲，该第二时间相干长度小于脉冲的第一时间相干长度；至少从修改的脉冲形成脉冲光束；并且将形成的脉冲光束朝向光刻曝光设备内的衬底引导。
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公开(公告)号：CN108474689B
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201680073543.3
申请日：2016-10-18
申请人： 西默有限公司 , ASML荷兰有限公司
摘要： 公开了根据激光器以其被操作的重复率对激光器性能的在线校准。校准可以是周期性的，并且可以在非曝光时段期间的计划期间进行。可以使用各种标准来自动选择产生可靠的符合规范的性能的重复率。然后使重复率的可靠值可用于扫描仪以作为所允许的值，并且然后允许激光器/扫描仪系统使用那些允许的重复率。
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公开(公告)号：CN112731770A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN202011588035.3
申请日：2016-10-18
申请人： 西默有限公司 , ASML荷兰有限公司
摘要： 公开了根据激光器以其被操作的重复率对激光器性能的在线校准。校准可以是周期性的，并且可以在非曝光时段期间的计划期间进行。可以使用各种标准来自动选择产生可靠的符合规范的性能的重复率。然后使重复率的可靠值可用于扫描仪以作为所允许的值，并且然后允许激光器/扫描仪系统使用那些允许的重复率。
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公开(公告)号：CN110178087A
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201780083474.9
申请日：2017-12-04
申请人： 西默有限公司 , ASML荷兰有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种方法包括：产生由具有深紫外范围中的波长的脉冲构成的光束，每个脉冲具有由第一时间相干长度定义的第一时间相干性，并且每个脉冲由脉冲持续时间定义；对于一个或多个脉冲，在脉冲的脉冲持续时间上调制光学相位以产生具有由第二时间相干长度定义的第二时间相干性的修改的脉冲，该第二时间相干长度小于脉冲的第一时间相干长度；至少从修改的脉冲形成脉冲光束；并且将形成的脉冲光束朝向光刻曝光设备内的衬底引导。
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公开(公告)号：CN108474689A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201680073543.3
申请日：2016-10-18
申请人： 西默有限公司 , ASML荷兰有限公司
摘要： 公开了根据激光器以其被操作的重复率对激光器性能的在线校准。校准可以是周期性的，并且可以在非曝光时段期间的计划期间进行。可以使用各种标准来自动选择产生可靠的符合规范的性能的重复率。然后使重复率的可靠值可用于扫描仪以作为所允许的值，并且然后允许激光器/扫描仪系统使用那些允许的重复率。
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公开(公告)号：CN112444319B
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202011182770.4
申请日：2017-08-17
申请人： 西默有限公司
IPC分类号： G01J11/00 , G03F7/20 , G01J1/42 , G02B5/00 , G01J9/00 , G02B27/09 , H01S3/105 , G02B26/08 , H01S3/13
摘要： 用于控制光学系统的技术包括访问从光学系统发射的脉冲光束的特定脉冲的属性的测量值，该属性与光束的相干量有关；将光束的属性的测量值与属性的目标值进行比较；基于比较确定是否生成控制信号；并且如果基于比较生成控制信号，则通过基于控制信号修改光学系统的方面来调节光束中的相干量，以减少特定脉冲之后的脉冲的相干量。
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公开(公告)号：CN111937256B
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN201980023674.4
申请日：2019-03-01
申请人： 西默有限公司
IPC分类号： H01S3/10
摘要： 一种方法包括：在以脉冲重复率产生脉冲突发的同时，以与脉冲重复率相关的频率在一组离散状态之间驱动光谱特征调节器；以及在脉冲突发的产生之间(在没有脉冲产生的同时)之间，根据由一组参数限定的驱动信号来驱动光谱特征调节器。每个离散状态对应于光谱特征的离散值。该方法包括当通过调节以下中的一项或多项来产生下一突发中的脉冲时，通过调节以下中的一项或多项来确保当产生下一突发中的脉冲时光谱特征调节器处于离散状态中的、与放大光束的光谱特征的离散值相对应的一个离散状态中：给光刻曝光装置的指令、给光谱特征调节器的驱动信号、和/或给光源的指令。
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公开(公告)号：CN109845054B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN201780063849.5
申请日：2017-10-04
申请人： 西默有限公司
摘要： 由光源产生的脉冲光束的光谱特征由一种方法来控制。该方法包括以脉冲重复率产生脉冲光束；将脉冲光束导向光刻曝光装置中接收的衬底，以使衬底暴露于脉冲光束；当脉冲光束曝光衬底时，修改脉冲光束的脉冲重复率。该方法包括确定对脉冲光束的光谱特征的调整量，该调整量补偿脉冲光束的光谱特征的变化，该变化与脉冲光束的脉冲重复率的修改相关。该方法包括在曝光衬底时，通过所确定的调整量来改变脉冲光束的光谱特征，从而补偿光谱特征的变化。
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