-
公开(公告)号：CN100350686C
公开(公告)日：2007-11-21
申请号：CN02823871.0
申请日：2002-10-23
申请人： 西默股份有限公司
IPC分类号： H01S3/22
CPC分类号： H01S3/0385 , G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70575 , H01S3/0057 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/041 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/0943 , H01S3/097 , H01S3/09702 , H01S3/09705 , H01S3/0971 , H01S3/0975 , H01S3/134 , H01S3/139 , H01S3/22 , H01S3/2207 , H01S3/223 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256 , H01S3/2258 , H01S3/2308 , H01S3/2333 , H01S3/2366
摘要： 用于注射下种式模块化气体放电激光器(11)的反馈时序控制设备和方法。一优选的实施例是一种能够在脉冲频率约为4，000Hz或更大且脉冲能量约为5至10mJ或更大时产生集成输出约为20至40瓦或更大的高质量脉冲激光束的系统。反馈时序控制经程序化以使得在某些情况下能够对放电进行定时，致使系统不会输出显著的激光能量。使用这种技术允许进行猝发模式操作，在该操作中猝发的第一放电是无输出放电，使得两室各自的时序参数能在猝发的第一激光输出脉冲之前被监测到。提供了两个分离的放电室，其中一室是主振荡器的一部分，主振荡器产生带宽非常窄的种子束，然后经第二放电室放大。可以单独控制各室，以使主振荡器的波长参数以及放大室的脉冲能量参数最优化。
-
公开(公告)号：CN1596492A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN02823871.0
申请日：2002-10-23
申请人： 西默股份有限公司
IPC分类号： H01S3/22
CPC分类号： H01S3/0385 , G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70575 , H01S3/0057 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/041 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/0943 , H01S3/097 , H01S3/09702 , H01S3/09705 , H01S3/0971 , H01S3/0975 , H01S3/134 , H01S3/139 , H01S3/22 , H01S3/2207 , H01S3/223 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256 , H01S3/2258 , H01S3/2308 , H01S3/2333 , H01S3/2366
摘要： 用于注射下种式模块化气体放电激光器(11)的反馈时序控制设备和方法。一优选的实施例是一种能够在脉冲频率约为4,000Hz或更大且脉冲能量约为5至10mJ或更大时产生集成输出约为20至40瓦或更大的高质量脉冲激光束的系统。反馈时序控制经程序化以使得在某些情况下能够对放电进行定时，致使系统不会输出显著的激光能量。使用这种技术允许进行猝发模式操作，在该操作中猝发的第一放电是无输出放电，使得两室各自的时序参数能在猝发的第一激光输出脉冲之前被监测到。提供了两个分离的放电室，其中一室是主振荡器的一部分，主振荡器产生带宽非常窄的种子束，然后经第二放电室放大。可以单独控制各室，以使主振荡器的波长参数以及放大室的脉冲能量参数最优化。
-
搜索结果
2 条记录 (耗时 0.025 秒)
