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公开(公告)号：CN101326131A
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200780000535.7
申请日：2007-03-07
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC分类号： C03B17/04
CPC分类号： C03B17/04 , C03B5/0336
摘要： 在用于拉制石英玻璃管线的已知方法中，向坩埚供给含有SiO2的起始材料，该起始材料在坩埚中软化，并作为软化的石英玻璃体沿拉制轴线通过在拉制喷嘴的外部部件和内部部件之间的环形间隙而竖直向下拉制成石英玻璃管线，该内部部件布置在外部部件的通孔中，且该拉制喷嘴布置在坩埚的底部区域。为了改进该已知方法，以便减小拉出的管线的不均匀性和因此能够通过从熔融物拉制而制造均匀、无缺陷的空心石英玻璃柱体，本发明提出使拉制喷嘴的内部部件(沿拉制轴线方向看时)保持悬挂在外部部件的通孔内部并可径向运动，且拉制喷嘴的环形间隙有纵向部分“L”，在该纵向部分“L”中，其横截喷嘴面积从顶部至底部而减小尺寸。
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公开(公告)号：CN101326131B
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN200780000535.7
申请日：2007-03-07
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC分类号： C03B17/04
CPC分类号： C03B17/04 , C03B5/0336
摘要： 在用于拉制石英玻璃管线的已知方法中，向坩埚供给含有SiO2的起始材料，该起始材料在坩埚中软化，并作为软化的石英玻璃体沿拉制轴线通过在拉制喷嘴的外部部件和内部部件之间的环形间隙而竖直向下拉制成石英玻璃管线，该内部部件布置在外部部件的通孔中，且该拉制喷嘴布置在坩埚的底部区域。为了改进该已知方法，以便减小拉出的管线的不均匀性和因此能够通过从熔融物拉制而制造均匀、无缺陷的空心石英玻璃柱体，本发明提出使拉制喷嘴的内部部件(沿拉制轴线方向看时)保持悬挂在外部部件的通孔内部并可径向运动，且拉制喷嘴的环形间隙有纵向部分“L”，在该纵向部分“L”中，其横截喷嘴面积从顶部至底部而减小尺寸。
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公开(公告)号：CN101061075B
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN200680001203.6
申请日：2006-03-30
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/06 , C03B19/09 , C03B32/00 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/24 , C03B2201/32 , C03C15/00 , C03C19/00 , C03C23/0025 , C03C23/006 , C03C2201/11 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2201/32 , C03C2201/50 , C03C2203/54 , C30B25/12 , C30B31/14 , C30B35/00 , Y02P40/57
摘要： 用于蚀刻作用环境中的晶片夹具用理想石英玻璃的特征在于高纯度和高抗干蚀刻性。为给出一种完全符合这些要求的石英玻璃，本发明提出该石英玻璃应至少在其近表面区域掺杂氮，且亚稳态羟基的平均含量小于30重量ppm，以及其假定温度低于1250℃和在1200℃的温度下粘度为至少1013dPas。一种制造这种石英玻璃的经济性方法包括以下步骤：熔融SiO2原料以获得石英玻璃坯，其中使所述SiO2原料或石英玻璃坯经受脱水处理，在含氨气氛中将所述SiO2原料或石英玻璃坯加热至1050℃至1850℃范围的氮化温度，进行温度处理藉此将石英玻璃坯的石英玻璃设定到1250℃或更低的假定温度，对石英玻璃坯进行表面处理，形成石英玻璃夹具。
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公开(公告)号：CN102209690A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN200980144512.2
申请日：2009-10-29
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC分类号： C03B37/014
CPC分类号： C03B37/01446 , C03B2201/12 , Y10T428/1317 , Y10T428/2964
摘要： 在用于制造在由合成石英玻璃的纤维制造方面使用的尺寸稳定的半成品公知方法中，在石英玻璃内圆柱体的外壁上涂覆SiO2烟灰层并对该烟灰层进行烧结处理，其中烧结区从外向内迁移通过SiO2烟灰层。为由此出发一方面达到尺寸精确和不易变形的制造和另一方面高的成本效益，依据本发明提出，在烧结区到达内圆柱体的外壁之前中断烧结处理，从而内圆柱体的外壁上保留由含有孔的合成石英玻璃形成的中间层。将这样获得的半成品拉伸成光学部件，其中，中间层完全烧结成透明的石英玻璃。
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公开(公告)号：CN101061075A
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200680001203.6
申请日：2006-03-30
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/06 , C03B19/09 , C03B32/00 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/24 , C03B2201/32 , C03C15/00 , C03C19/00 , C03C23/0025 , C03C23/006 , C03C2201/11 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2201/32 , C03C2201/50 , C03C2203/54 , C30B25/12 , C30B31/14 , C30B35/00 , Y02P40/57
摘要： 用于蚀刻作用环境中的晶片夹具用理想石英玻璃的特征在于高纯度和高抗干蚀刻性。为给出一种完全符合这些要求的石英玻璃，本发明提出该石英玻璃应至少在其近表面区域掺杂氮，且亚稳态羟基的平均含量小于30重量ppm，以及其假定温度低于1250℃和在1200℃的温度下粘度为至少1013dPas。一种制造这种石英玻璃的经济性方法包括以下步骤：熔融SiO2原料以获得石英玻璃坯，其中使所述SiO2原料或石英玻璃坯经受脱水处理，在含氨气氛中将所述SiO2原料或石英玻璃坯加热至1050℃至1850℃范围的氮化温度，进行温度处理藉此将石英玻璃坯的石英玻璃设定到1250℃或更低的假定温度，对石英玻璃坯进行表面处理，形成石英玻璃夹具。
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