公开(公告)号：CN112501682B

公开(公告)日：2022-02-18

申请号：CN202011281323.4

申请日：2020-11-16

申请人： 连城凯克斯科技有限公司

发明人： 逯占文 ,  邢志国 ,  刘海 ,  李扬 ,  綦宗升

IPC分类号： C30B15/00 ,  C30B15/20 ,  C30B29/06

摘要： 本发明属于单晶炉中炉筒升降技术领域，尤其是一种半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置，针对现有的单晶炉中炉筒升降旋转装置不能保证中炉筒升降的稳定性的问题，现提出以下方案，包括底板，所述底板的顶部外壁通过轴承连接有转杆，所述转杆的顶端外壁通过螺栓固定有转板，所述转板顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有滑竿，所述滑竿的外壁滑动连接有第二滑套，所述第二滑套的外壁通过螺栓固定有升降杆，所述升降杆的顶端外壁通过螺栓固定有滑块。本发明通过两边均设置有电动伸缩杆同时推动两个升降杆移动可以保证中炉筒升降的稳定性，通过固定板和伸缩板的配合可以进一步增强中炉筒升降时的稳定性，同时可以保证中炉筒升降时发生侧翻。

公开(公告)号：CN112501682A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN202011281323.4

申请日：2020-11-16

申请人： 连城凯克斯科技有限公司

发明人： 逯占文 ,  邢志国 ,  刘海 ,  李扬 ,  綦宗升

IPC分类号： C30B15/00 ,  C30B15/20 ,  C30B29/06

摘要： 本发明属于单晶炉中炉筒升降技术领域，尤其是一种半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置，针对现有的单晶炉中炉筒升降旋转装置不能保证中炉筒升降的稳定性的问题，现提出以下方案，包括底板，所述底板的顶部外壁通过轴承连接有转杆，所述转杆的顶端外壁通过螺栓固定有转板，所述转板顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有滑竿，所述滑竿的外壁滑动连接有第二滑套，所述第二滑套的外壁通过螺栓固定有升降杆，所述升降杆的顶端外壁通过螺栓固定有滑块。本发明通过两边均设置有电动伸缩杆同时推动两个升降杆移动可以保证中炉筒升降的稳定性，通过固定板和伸缩板的配合可以进一步增强中炉筒升降时的稳定性，同时可以保证中炉筒升降时发生侧翻。