公开(公告)号：CN118835311A

公开(公告)日：2024-10-25

申请号：CN202411121939.3

申请日：2024-08-15

申请人： 连科半导体有限公司

发明人： 胡动力 ,  王人松 ,  石海洋 ,  贾新旺

IPC分类号： C30B25/08 ,  C30B29/36

摘要： 本发明属于卧式碳化炉技术领域，具体的说是一种卧式碳化硅外延炉，包括单层石英炉室一及对称设置在单层石英炉室一两侧中心表面上的密封法兰，活动搭接在密封法兰外侧表面上的滑块，活动套接在滑块、密封法兰和单层石英炉室一内侧壁面上的石英管，所述滑块的外侧表面上固定安装有端口全防护挤压单元。本发明将石英管的一端对接到套筒的内侧壁面上，同时配合套筒内侧壁面上的限位槽对石英管的一端位置进行限定，同时配合套筒内侧壁面上的贴合软条一增加与石英管表面之间的摩擦力，套筒内圈一层的贴合软条一可以有效且均匀的覆盖在石英管的表面上，进而增加石英管与套筒之间在位置上的限定。

公开(公告)号：CN221421280U

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202322543785.4

申请日：2023-09-19

申请人： 连科半导体有限公司

发明人： 石海洋 ,  胡动力 ,  王人松

IPC分类号： C30B29/36 ,  C30B15/30

摘要： 本实用新型提供了一种液相法碳化硅长晶炉用籽晶轴传动机构，包括：底座，底座后端安装有配重块，底座前端活动安装有升降高精度模组，升降高精度模组前端中部固定安装有支架，支架内部安装有磁流体，磁流体下端固定安装有真空波纹管，磁流体内部安装有籽晶旋转轴，磁流体的上端活动连接有旋转拨叉，旋转拨叉的上端固定固定连接有同步轮二，同步轮二的外侧安装有同步带，同步带的前端安装有同步轮一。该种液相法碳化硅长晶炉用籽晶轴传动机构，可以起到水滑环与籽晶轴的同步旋转使用柔性连接，同时避免了水滑环旋转过程中产生震动带来的不利影响，且同时实现了籽晶轴的真空密封、快慢速的升降、旋转、水冷和中心测温五个功能的作用。

公开(公告)号：CN221094374U

公开(公告)日：2024-06-07

申请号：CN202323029281.7

申请日：2023-11-09

申请人： 连科半导体有限公司

发明人： 石海洋 ,  胡动力 ,  叶峰 ,  李扬 ,  王人松

IPC分类号： C30B35/00 ,  F27D11/00

摘要： 本实用新型是一种单晶炉多电极同步升降机构，其结构包括安装在炉底盘底面上的电极导向机构、升降驱动机构和升降导向机构，升降驱动机构连接电极导向机构和升降导向机构，电极导向机构共两个以上，每个电极导向机构包括一根电极，所有电极与炉底盘上方的加热器连接，升降导向机构包括滑动板、线轴承和导向轴，所有电极靠近底端处连接同一滑动板，滑动板上装有两个以上直线轴承，每个直线轴承升降连接一导向轴，导向轴顶端固定在炉底盘底面上，所有导向轴底端固定在底部固定板上。电极的升降由滑动板带动，滑动板升降式沿多个导向轴通过直线轴承滑动，可保证稳定性避免晃动。