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公开(公告)号:CN101155662A
公开(公告)日:2008-04-02
申请号:CN200680010968.6
申请日:2006-04-03
申请人: 通快机床两合公司
IPC分类号: B23K26/42 , G01K17/00 , G01K11/00 , H01L27/146
CPC分类号: H01L27/146 , B23K26/702 , G01K17/003
摘要: 本发明涉及一种用于激光束的导向和整形的光学元件以及记录射束参数的方法,尤其是激光系统中的光学元件,其包括承载衬底(40)和涂在承载衬底(40)至少一侧的涂层(39),还包括至少一个温度传感器(38)。温度传感器(38)由多个布置成矩阵的像素(36)组成且各个像素(36)包括至少一个温度敏感元件(39)。像素(36)的至少一个温度敏感元件(39)构建于由硅制成的承载衬底(40)中。
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公开(公告)号:CN101155662B
公开(公告)日:2010-09-01
申请号:CN200680010968.6
申请日:2006-04-03
申请人: 通快机床两合公司
IPC分类号: B23K26/42 , G01K17/00 , G01K11/00 , H01L27/146
CPC分类号: H01L27/146 , B23K26/702 , G01K17/003
摘要: 本发明涉及一种用于激光束的导向和整形的光学元件以及记录射束参数的方法,尤其是激光系统中的光学元件,其包括承载衬底(40)和涂在承载衬底(40)至少一侧的涂层(39),还包括至少一个温度传感器(38)。温度传感器(38)由多个布置成矩阵的像素(36)组成且各个像素(36)包括至少一个温度敏感元件(39)。像素(36)的至少一个温度敏感元件(39)构建于由硅制成的承载衬底(40)中。
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