用于使激光射束聚焦的射束成型单元及其控制方法

    公开(公告)号:CN102985214B

    公开(公告)日:2015-02-11

    申请号:CN201180030924.0

    申请日:2011-04-13

    IPC分类号: B23K26/14 B23K26/073

    摘要: 本发明涉及一种射束成型单元(1),用于将用于激光材料加工的激光射束(3)聚焦到工件(9)上,其包括:第一光学元件(5),所述激光射束(3)射到所述第一光学元件上;第二光学元件(7),所述第二光学元件在射束传播方向上设置在所述第一光学元件(5)下游;和在射束传播方向上设置在所述第二光学元件(7)下游的聚焦光学装置(8),其中,给所述第一光学元件(5)配置用于通过影响该第一光学元件(5)而调节焦点直径(D)的第一焦点调节装置(10),其中,给所述第二光学元件(7)配置用于通过影响该第二光学元件(7)而在所述激光射束(3)的射束传播方向上调节焦点位置的第二焦点调节装置(12),并且其中,所述激光射束(3)通过所述第一光学元件(5)经由一中间焦点(6)成像到所述第二光学元件(7)上。本发明还涉及一种用于控制射束成型单元(1)的方法。

    用于使激光射束聚焦的射束成型单元及其控制方法

    公开(公告)号:CN102985214A

    公开(公告)日:2013-03-20

    申请号:CN201180030924.0

    申请日:2011-04-13

    IPC分类号: B23K26/14 B23K26/073

    摘要: 本发明涉及一种射束成型单元(1),用于将用于激光材料加工的激光射束(3)聚焦到工件(9)上,其包括:第一光学元件(5),所述激光射束(3)射到所述第一光学元件上;第二光学元件(7),所述第二光学元件在射束传播方向上设置在所述第一光学元件(5)下游;和在射束传播方向上设置在所述第二光学元件(7)下游的聚焦光学装置(8),其中,给所述第一光学元件(5)配置用于通过影响该第一光学元件(5)而调节焦点直径(D)的第一焦点调节装置(10),其中,给所述第二光学元件(7)配置用于通过影响该第二光学元件(7)而在所述激光射束(3)的射束传播方向上调节焦点位置的第二焦点调节装置(12),并且其中,所述激光射束(3)通过所述第一光学元件(5)经由一中间焦点(6)成像到所述第二光学元件(7)上。本发明还涉及一种用于控制射束成型单元(1)的方法。