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公开(公告)号:CN100547444C
公开(公告)日:2009-10-07
申请号:CN03822106.3
申请日:2003-07-24
申请人: 通用电气公司
发明人: 欧内斯特·W·鲍尔奇 , 伦纳德·R·道格拉斯 , 施旻宜
CPC分类号: G02B6/1228 , G02B6/12004 , G02B6/138 , G02B6/4228 , G02B6/43
摘要: 适于制造波导(30)的方法,该方法包括:测量光子器件(31,32,34)相对于衬底(20)的位置偏差;生成计算机可读的指令,用于使用多个图形元素(16)以形成波导;以及按照计算机可读的指令在衬底上为波导进行照相排版。中间掩模(14)包括多个图形元素,该多个图形元素中至少一个包括锥形端部。波导(30)包括多个波导分段(22),该多个波导分段中的每一个包括锥形端部且与该多个波导分段中其他的至少一个相邻接。
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公开(公告)号:CN1682138A
公开(公告)日:2005-10-12
申请号:CN03822106.3
申请日:2003-07-24
申请人: 通用电气公司
发明人: 欧内斯特·W·鲍尔奇 , 伦纳德·R·道格拉斯 , 施旻宜
CPC分类号: G02B6/1228 , G02B6/12004 , G02B6/138 , G02B6/4228 , G02B6/43
摘要: 适于制造波导(30)的方法,该方法包括:测量光子器件(31,32,34)相对于衬底(20)的位置偏差;生成计算机可读的指令,用于使用多个图形元素(16)以形成波导;以及按照计算机可读的指令在衬底上为波导进行照相排版。中间掩模(14)包括多个图形元素,该多个图形元素中至少一个包括锥形端部。波导(30)包括多个波导分段(22),该多个波导分段中的每一个包括锥形端部且与该多个波导分段中其他的至少一个相邻接。
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公开(公告)号:CN1829929A
公开(公告)日:2006-09-06
申请号:CN200480021642.4
申请日:2004-07-16
申请人: 通用电气公司
IPC分类号: G02B6/12
CPC分类号: G02B6/138 , G02B6/1221 , G02B6/125
摘要: 一种形成包括核心区域(12)、包层区域(14)、和位于其间的指数对比区域(16)的波导管的方法,该方法包括在基底(18)上沉积可聚合复合物以形成层(22),对该层进行图样化以限定该层的曝光区(26)和未曝光区(28),照射该层的曝光区,并挥发未固化的单体以形成该波导管,其中该可聚合复合物包含聚合物粘合剂和足够量的未固化的单体,以扩散进该层的曝光区中并形成指数对比区域。该获得的波导管包括折射率低于核心和包层区域的折射率的指数对比区域。
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公开(公告)号:CN1739048A
公开(公告)日:2006-02-22
申请号:CN200380108684.7
申请日:2003-11-24
申请人: 通用电气公司
发明人: 施旻宜 , 托马斯·B·戈克齐卡
IPC分类号: G02B6/12
CPC分类号: G02B3/0056 , G02B3/0012 , G02B6/138
摘要: 一种光学器件结构(22),其包括基材(10)和至少一种地形特征体。该地形特征体包括由可聚合的粘合剂和未固化的单体形成的聚合物复合材料。地形特征体具有控制的地形结构和从拓扑特征体的一侧至另一侧的控制的折射率。该光学器件结构可以是多模式波导器件、单模式波导器件、光学数据储存器件、热-光转换器、透镜或微电子机械系统。
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