公开(公告)号：CN118580083A

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202410633473.9

申请日：2024-05-21

申请人： 郑州大学 ,  河南北星精工技术有限公司

发明人： 马成良 ,  付杰 ,  刘源 ,  赵振威 ,  刘元飞 ,  李祥 ,  李斯 ,  孔源 ,  杨露君 ,  王安修 ,  王建有

IPC分类号： C04B35/584 ,  C04B35/622

摘要： 本发明涉及一种水基浆料流延成型原位氮化合成氮化硅陶瓷基板素坯及其制备方法，按照质量百分比计，包括陶瓷粉体40～45wt%、水基分散剂0.5～1.0wt%、粘接剂8～16wt%、水基增塑剂0～8wt%，去离子水40～50wt%，所述的陶瓷粉体包由硅粉体、氧化镁烧结助剂和氧化钇烧结助剂组成，所述的硅粉体、氧化镁烧结助剂和氧化钇烧结助剂的重量百分比为93:5:2，其制备方法：将硅粉、烧结助剂、分散剂、粘接剂、增塑剂和溶剂，磁力搅拌混合，得到浆料；真空脱泡处理后用流延成型制得流延片。本发明通过在原料配比中引入新的粘接剂体系，改善水基干燥易出现缺陷和氮化硅陶瓷基板素坯柔韧性差的问题，显著提高水基流延片干燥速度，降低生产成本，优化生产环境。