-
公开(公告)号：CN110328624B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201910681295.6
申请日：2019-07-26
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: B24D18/00
Abstract: 一种用于异形电镀砂轮的沉积卡具及其使用方法，包括卡环、可移动遮挡物、升降装置、控制可移动遮挡物收卷的收卷伺服电机总成以及伺服控制总成，升降装置及收卷伺服电机总成分别与伺服控制总成控制连接；卡环包括上下滑动配合设置的内环和外环，且外环与升降装置控制连接并在升降装置的控制下沿内环上下移动；可移动遮挡物沿径向布设于外环的顶部，且其心部开有用于穿过砂轮的中心孔，其末端部与设在外环上的收卷伺服电机总成连接。该用于异形电镀砂轮的沉积卡具，使镀层型面各位置沉积镀层一致性较高；通过设定的工艺参数及步进电机对可移动遮挡物的控制，保证砂轮型面各处镀层沉积厚度的一致性，且能达到镀层整齐，提升镀层形状尺寸精度。
-
公开(公告)号：CN109267140A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201811277156.9
申请日：2018-10-30
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 一种旋转上砂装置及利用其电镀螺旋砂轮基体的方法，属于电镀磨具制造技术领域，所述装置包括螺旋砂轮基体、电镀槽和储槽，电镀槽底面的中部设有轴套，所述轴套的底部穿过并伸出底面外，轴套顶部设有托砂板，托砂板的中部设有通孔，通孔内设有砂轮基体夹具，电镀槽的下方设有第一电机，第一电机的顶部设有电机轴，所述电机轴的顶端从下至上依次穿过轴套、托砂板且电机轴的顶端和砂轮基体夹具固定连接，砂轮基体固定于砂轮基体夹具内，托砂板上设有凹槽，砂轮基体外套设有圆筒状上下敞口的砂罩，砂罩的底部卡接在托砂板上的凹槽内，电镀槽内设有阳极；储槽的出口通过管道和电镀槽的进口连接，管道上设有磁力泵且管道位于电镀槽的一端伸入砂罩内。
-
公开(公告)号：CN112936120B
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202110365503.9
申请日：2021-04-06
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明提供了一种电镀砂轮用上砂夹具、电镀超硬材料砂轮及制造方法，通过设计专用上砂夹具，实现复杂型面磨料均匀分布的目标，降低砂轮磨削凸线、划痕缺陷发生概率；所述夹具支架上设有筛网和磨料遮挡板，磨料遮挡板上依次设有左端毛刷、中间毛刷和右端毛刷，所述磨料遮挡板下端内侧设有两侧毛刷。利用本发明装置制备的砂轮的使用线速度可以达到180m/s，磨削进给量达到70mm/min，远远大于普磨砂轮。磨削的气门表面没有烧伤和裂纹，粗糙度Rz可达10μm以下，满足工件表面质量要求。
-
公开(公告)号：CN112536737B
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202011433031.8
申请日：2020-12-10
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: B24D18/00
Abstract: 本发明提供了一种超硬材料电镀砂轮磨料重排均布上砂装置及方法，包括上下对应设置的托板和盖板，所述托板之间设有上砂轴，上砂轴上固定设置有砂轮基体，所述托板和盖板之间设有砂罩，砂罩之间设有超硬磨料，砂轮基体置于超硬磨料中。本发明能够提高磨料密度一致性，通过规定磨料用量实现磨料定量添加，保证治具内每次上砂时压力的一致性，通过螺纹配合的特性实现砂轮的旋转下移，将贴紧砂轮基体表面的磨料进行重排，保证磨料分布的均匀性，在总电量保持不变的前提下，控制每片砂轮磨料密度的一致性。同时本方法能够实现一次上砂成功，实现电镀砂轮型面单次上砂需求，杜绝补砂对砂轮镀后尺寸的影响，能够有效降低砂轮镀后型面的跳动量。
-
公开(公告)号：CN114871954A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210394970.9
申请日：2022-04-15
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明属于半导体芯片加工制造技术领域，具体涉及一种超薄IC晶圆专用划片刀及其制作方法。所述超薄IC晶圆专用划片刀，由基体和镀覆在基体表面的复合镀层构成，所述复合镀层由电镀镍结合剂和金刚石磨料组成；复合镀层的厚度为13~16μm；所述基体为铝基体；复合镀层伸出基体之外的部分为刀刃，刀刃长度为380~440μm。本发明所述超薄IC晶圆专用划片刀能够改善50~100μm厚度范围的超薄IC硅晶圆的切割质量，还能够能克服DAF膜的粘附，减少常规刀片切割时典型的背崩、侧崩、背裂的发生，进而提升晶圆划切良率和加工效率。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112936120A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110365503.9
申请日：2021-04-06
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明提供了一种电镀砂轮用上砂夹具、电镀超硬材料砂轮及制造方法，通过设计专用上砂夹具，实现复杂型面磨料均匀分布的目标，降低砂轮磨削凸线、划痕缺陷发生概率；所述夹具支架上设有筛网和磨料遮挡板，磨料遮挡板上依次设有左端毛刷、中间毛刷和右端毛刷，所述磨料遮挡板下端内侧设有两侧毛刷。利用本发明装置制备的砂轮的使用线速度可以达到180m/s，磨削进给量达到70mm/min，远远大于普磨砂轮。磨削的气门表面没有烧伤和裂纹，粗糙度Rz可达10μm以下，满足工件表面质量要求。
-
公开(公告)号：CN109267140B
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201811277156.9
申请日：2018-10-30
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 一种旋转上砂装置及利用其电镀螺旋砂轮基体的方法，属于电镀磨具制造技术领域，所述装置包括螺旋砂轮基体、电镀槽和储槽，电镀槽底面的中部设有轴套，所述轴套的底部穿过并伸出底面外，轴套顶部设有托砂板，托砂板的中部设有通孔，通孔内设有砂轮基体夹具，电镀槽的下方设有第一电机，第一电机的顶部设有电机轴，所述电机轴的顶端从下至上依次穿过轴套、托砂板且电机轴的顶端和砂轮基体夹具固定连接，砂轮基体固定于砂轮基体夹具内，托砂板上设有凹槽，砂轮基体外套设有圆筒状上下敞口的砂罩，砂罩的底部卡接在托砂板上的凹槽内，电镀槽内设有阳极；储槽的出口通过管道和电镀槽的进口连接，管道上设有磁力泵且管道位于电镀槽的一端伸入砂罩内。
-
公开(公告)号：CN114839083A
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202210574198.9
申请日：2022-05-25
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明公开了一种划片刀抗弯强度测试装置，包括用于夹紧划片刀的夹紧机构和驱动夹紧机构转动的旋转驱动机构；还包括用于装载测针的进给机构和装载有显微镜的三轴微调平台；进给机构与夹紧机构移动配合以使测针接触划片刀；三轴微调平台与夹紧机构配合以使显微镜对准测针与划片刀的接触点。本发明通过气动夹头夹持划片刀，使用高精度微调平台调整显微镜的聚焦点，便于清晰观察测量；通过直线模组驱动测力件水平移动，通过测针接触划片刀的刀刃，通过控制器输出位移‑力曲线，通过控制移动的位移，显微镜的倍率、气动夹头的回转，调整测针和划片刀接触的位置，测试刀片局部抗弯强度，且能够达到高重复性、无损测试。
-
公开(公告)号：CN112536737A
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN202011433031.8
申请日：2020-12-10
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: B24D18/00
Abstract: 本发明提供了一种超硬材料电镀砂轮磨料重排均布上砂装置及方法，包括上下对应设置的托板和盖板，所述托板之间设有上砂轴，上砂轴上固定设置有砂轮基体，所述托板和盖板之间设有砂罩，砂罩之间设有超硬磨料，砂轮基体置于超硬磨料中。本发明能够提高磨料密度一致性，通过规定磨料用量实现磨料定量添加，保证治具内每次上砂时压力的一致性，通过螺纹配合的特性实现砂轮的旋转下移，将贴紧砂轮基体表面的磨料进行重排，保证磨料分布的均匀性，在总电量保持不变的前提下，控制每片砂轮磨料密度的一致性。同时本方法能够实现一次上砂成功，实现电镀砂轮型面单次上砂需求，杜绝补砂对砂轮镀后尺寸的影响，能够有效降低砂轮镀后型面的跳动量。
-
公开(公告)号：CN110328624A
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201910681295.6
申请日：2019-07-26
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: B24D18/00
Abstract: 一种用于异形电镀砂轮的沉积卡具及其使用方法，包括卡环、可移动遮挡物、升降装置、控制可移动遮挡物收卷的收卷伺服电机总成以及伺服控制总成，升降装置及收卷伺服电机总成分别与伺服控制总成控制连接；卡环包括上下滑动配合设置的内环和外环，且外环与升降装置控制连接并在升降装置的控制下沿内环上下移动；可移动遮挡物沿径向布设于外环的顶部，且其心部开有用于穿过砂轮的中心孔，其末端部与设在外环上的收卷伺服电机总成连接。该用于异形电镀砂轮的沉积卡具，使镀层型面各位置沉积镀层一致性较高；通过设定的工艺参数及步进电机对可移动遮挡物的控制，保证砂轮型面各处镀层沉积厚度的一致性，且能达到镀层整齐，提升镀层形状尺寸精度。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
13
records
(took 0.024 seconds)
