一种高导热高均温微通道结构及其加工方法

    公开(公告)号:CN119495653A

    公开(公告)日:2025-02-21

    申请号:CN202411745631.6

    申请日:2024-12-02

    Abstract: 本发明公开了一种高导热高均温微通道结构及其加工方法,通过设置微通道热沉及其上方的亚克力盖板,且亚克力盖板内嵌有收缩流道,收缩流道的高度从进口端至出口端高度递减,微通道热沉的主体材质为金刚石/铜复合材料,由于其高热导率,使用金刚石/铜基微通道可以大幅降低芯片工作过程中的温度,而通过收缩型微通道可以提高出口侧流速,强化换热效果,减小进出口温差,强化均温性,虽然收缩型微通道会增加流体流动阻力,磁控溅射聚四氟乙烯可以使亚克力流道疏水,减小流动阻力,因而该型微通道设计集高散热、高均温、低流阻能力一体,提升了现有微通道的整体换热性能。

    一种金刚石滚轮内凹圆弧型面的修整方法

    公开(公告)号:CN118514002A

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202410625800.6

    申请日:2024-05-20

    Abstract: 本发明提供了一种金刚石滚轮内凹圆弧型面的修整方法,解决了现有的滚轮修整方法对工具砂轮廓形精度依赖性高、工具砂轮磨损不均匀、修整路径保持性差、修整精度低的技术问题。所述修整方法使金刚石滚轮和工具砂轮绕平行的轴线回转,工具砂轮磨削面的轮廓线上的磨削点与金刚石滚轮内凹圆弧型面的轮廓线#imgabs0#相切,在每个磨削点与轮廓线#imgabs1#相切时,控制金刚石滚轮进行往复摆动修整,使摆动修整的范围覆盖整个内凹圆弧型面。本发明的修整方法降低了对工具砂轮轮廓线精度的依赖性,还在修整过程中反修整工具砂轮,提高了修整路径保持性,提高了金刚石滚轮的修整精度,适用于几乎所有内凹圆弧型面的修整,并有效避免修整过程中的干涉。

    一种齿轮加工用金刚石滚轮的振荡式修整方法

    公开(公告)号:CN114851082B

    公开(公告)日:2023-06-13

    申请号:CN202210696720.0

    申请日:2022-06-20

    Abstract: 本发明提出了一种齿轮加工用金刚石滚轮的振荡式修整方法,包括设置在五轴数控机床主轴上的工具砂轮,工具砂轮一侧的五轴数控机床工作台上设置金刚石滚轮,工具砂轮靠近金刚石滚轮一侧为工作型面,金刚石滚轮一侧为上工作型面,金刚石滚轮另一侧为下工作型面,工具砂轮沿五轴数控机床Z方向做振荡运动,同时,金刚石滚轮相对工具砂轮做滚动运动,通过工具砂轮的振荡运动与金刚石滚轮的滚动运动相结合,可以实现对金刚石滚轮工作型面上几乎每个点的均匀反复磨削,同时可保证工具砂轮的均匀磨损,保持其型面稳定。可有效解决传统方法修整金刚石滚轮时,工具砂轮磨损不均匀、修整精度低的问题,进而提高齿轮的加工精度。

    一种制造化学机械抛光修整器的方法

    公开(公告)号:CN114227555A

    公开(公告)日:2022-03-25

    申请号:CN202111451345.5

    申请日:2021-12-01

    Abstract: 本发明公开了一种制造化学机械抛光修整器的方法,属于激光精加工技术领域。该加工系统平台包括紫外皮秒激光器、激光光路、三维扫描振镜、三轴数控平台,激光光束从紫外皮秒激光器中输出,经过激光光路射入三维扫描振镜,三维扫描振镜控制激光对三轴数控平台上的陶瓷基体在三维方向上进行快速扫描加工,制得表面具有金字塔型结构的基体,再通过热丝化学气相沉积在该基体表面沉积厚度均匀的金刚石薄膜,制造出化学机械抛光修整器。该制造方法实现了不同结构、尺寸、间距微结构的精密加工,解决了传统修整器金刚石磨料尺寸、形状以及金刚石把持力弱等问题,进而保证抛光垫的修整质量及效率,提高晶圆的化学机械抛光的抛光质量。

    基于机器视觉的砂轮修整方法及装置

    公开(公告)号:CN110815048B

    公开(公告)日:2021-08-24

    申请号:CN201911007533.1

    申请日:2019-10-22

    Abstract: 本发明涉及一种基于机器视觉的砂轮修整方法及装置,该砂轮的修整方法通过采集砂轮旋转时多幅原始轮廓图像,将所有原始轮廓图像叠加在一起,找出表示砂轮最外侧的像素边缘点,通过对像素边缘点的分析找出相应的修整量使砂轮工作层的平均出刃高度最大,出刃高度离散度最小;减小出刃高度离散度,使单位时间内同时参与磨削的磨料数量增加,提高平均出刃高度以保证砂轮工作层的容屑空间,使得修整后的砂轮具有更好的磨削效果,可用于精密磨削,有助于提高修整后的砂轮磨削性能的稳定性。

    一种精密锥孔精度测量方法

    公开(公告)号:CN105571461B

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201510968280.X

    申请日:2015-12-22

    Abstract: 一种精密锥孔精度测量方法,包括如下步骤:(1)用大理石平板校正精密锥孔精度测量装置零位(2)用标准环规校准精密锥孔精度测量装置(3)测量精密锥孔大端直径本发明的有益效果:1、精密锥孔精度测量装置实现了锥孔锥角和大端直径的同步在线测量,避免了锥孔轴向尺寸的错误,提高了锥孔加工的精度,提高了锥孔加工的效率。2、本发明的测量方法操作简单方便,降低了工人的劳动强度,简化了锥孔的加工检测流程。3、精密锥孔精度测量装置结构简单可靠,提高了产品生产的成品率,保证产品质量,降低锥孔加工的成本。

    一种修整内啮合珩磨砂轮的金刚石刀具及其使用方法

    公开(公告)号:CN119457274A

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN202411688597.3

    申请日:2024-11-25

    Abstract: 本发明提出了一种修整内啮合珩磨砂轮的金刚石刀具,所述金刚石刀具包括环形的刀具基体和设置在刀具基体前侧的金刚石层;金刚石层与刀具基体同轴固定;金刚石层的外周上设有修形斜齿以使修形斜齿的端面齿刃用于修整珩磨砂轮。本发明的金刚石刀具为外齿状斜齿轮结构,对珩磨砂轮进行啮合修整时,仅依靠金刚石层上修形斜齿的端面齿刃对珩磨砂轮进行材料去除,修形斜齿具有修形齿形,可以实现对珩磨砂轮的齿形修形,同时通过珩齿机床的运动带动金刚石刀具实现对珩磨砂轮齿面的齿向修形;由于修形斜齿的齿面与珩磨砂轮的齿面无接触,因此可适用于不同齿向修形需求的珩磨砂轮的修整。

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