一种CVD单晶金刚石激光加工辅助补偿装置及方法

    公开(公告)号:CN118287838A

    公开(公告)日:2024-07-05

    申请号:CN202410307086.6

    申请日:2024-03-18

    摘要: 本发明提出了一种CVD单晶金刚石激光加工辅助补偿装置及方法,解决了因激光功率衰减导致的激光加工设备停机及因切割角度无法单独调校导致的金刚石切割面型偏差损耗大的技术问题。通过旋转功率补偿模块X的偏心部件带动防尘镜片转动避开灼伤点,避免因扩束镜附尘导致激光功率持续衰减,为激光单批次长时间切割提供稳定的功率,实现了CVD单晶金刚石持续切割的需求,提升了切割效率;角度补偿模块Y将横向支架的两端与竖向支架连接,横向支架通过锁紧部件A与竖向支架在第一方向可调连接,金刚石通过锁紧部件B与横向支架在第二方向可调连接,实现了不同面型的CVD单晶金刚石的批量切割需求,同时确保了切割的CVD单晶金刚石面型平整,改善了切割质量。