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1.

实用新型
一种用于单面制绒的分片吸盘失效

公开(公告)号：CN210443539U

公开(公告)日：2020-05-01

申请号：CN201921193001.7

申请日：2019-07-26

申请人： 镇江仁德新能源科技有限公司 , 镇江荣德新能源科技有限公司

发明人： 孙鹏 , 张良 , 董文成

IPC分类号： H01L21/683 , H01L31/18

摘要： 本实用新型涉及一种用于单面制绒的分片吸盘，包括吸盘基体，吸盘基体内部设有抽气管道；抽气管道外部连接有负压环；负压环上设有多个抽气孔；抽气管道连接有吸盘进气口；吸盘进气口另一端连接有真空装置；真空装置与吸盘进气口采用气管相连接。该吸盘采用负压环设计，气体由抽气孔抽出，经过抽气管道排出。抽气孔分三层，以同心圆形状排列，每层抽气孔形成独立的负压环，三层负压环高度逐渐降低，形成大负压环，这种设计一方面增强吸力，另一方面不会与硅片直接接触，保护制绒后的绒面不被破坏。该实用新型能有效地针对用于改善单面制绒工艺中分片问题，降低分片过程中碎片率，减少对硅片绒面造成的损伤，降低制绒成本，提升制绒效果。