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发明公开
基板及其制作方法、显示面板以及掩膜版组件审中-实审

公开(公告)号：CN115167085A

公开(公告)日：2022-10-11

申请号：CN202210679451.7

申请日：2022-06-16

申请人： 长沙惠科光电有限公司 , 惠科股份有限公司

发明人： 焦超 , 李钟赫 , 田尚益 , 康报虹

IPC分类号： G03F9/00 , G03F7/20 , G03F1/42

摘要： 本申请提供了一种基板及其制作方法、一种显示面板以及一种掩膜版组件。所述基板包括衬底以及设置于衬底上的至少一个图案层，每个图案层包括多个图案区，每个图案区包括主图案区、至少两个第一对位标记以及至少两个第二对位标记，至少两个第一对位标记以及至少两个第二对位标记位于主图案区的同一端，或者，至少两个第一对位标记以及至少两个第二对位标记均分别位于主图案区的相对两端，且主图案区的每一端均具有至少一个第一对位标记和至少一个第二对位标记，相邻的两个图案区的至少两个第一对位标记与至少两个第二对位标记一一对准，以将相邻的主图案区对位且相邻的主图案区部分重合。因此，提高了图案区的对位精度，进而提高了基板的良率。