一种感光性树脂及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN111007699B

    公开(公告)日:2023-07-14

    申请号:CN201911384821.9

    申请日:2019-12-28

    摘要: 本发明提供一种感光性树脂及其制备方法和应用,所述感光性树脂具有如式I所示结构,是一种碱可溶性树脂,通过分子结构的特殊设计以及蒽酮基团的引入,显著提升了其耐热性、稳定性和光敏感性。所述感光性树脂能够在光辐照下发生化学交联反应、形成不溶于碱液的稳定固化物,使包含其的光刻胶组合物具有优异的显影性、粘附性、图案精度和热稳定性。所述感光性树脂适用于负性光刻胶组合物,尤其适用于黑色矩阵用光刻胶,曝光显影后得到图案具有良好的准直性、分辨率以及优异的热稳定性,可用于高精度细微结构的制备,能够充分满足光刻胶在加工过程中多次高温烘烤工艺的稳定性需求。