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公开(公告)号：CN107695868A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201610461559.3
申请日：2016-06-23
申请人： 陶氏环球技术有限责任公司 , 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
发明人： B·钱 , J·考兹休克 , T·布鲁加罗拉斯 , 布鲁福 , D·M·韦内齐亚莱 , Y·童 , D·卢戈 , J·B·米勒 , G·C·雅各布 , M·W·德格鲁特 , T·Q·陈 , M·R·斯塔克 , A·旺克 , F·叶
摘要： 提供了一种化学机械抛光垫，其包含：具有抛光表面的化学机械抛光层；其中所述化学机械抛光层通过将以下各项组合而形成：(a)聚侧(P)液体组分，包含：胺-二氧化碳加合物；以及多元醇、多元胺和醇胺中的至少一种；以及(b)异侧(I)液体组分，包含：多官能异氰酸酯；其中所述化学机械抛光层的孔隙度≥10vol％；其中所述化学机械抛光层的肖氏D硬度
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公开(公告)号：CN107695869B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201610462790.4
申请日：2016-06-23
申请人： 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 , 陶氏环球技术有限责任公司
发明人： B·钱 , T·布鲁加罗拉斯 , 布鲁福 , J·考兹休克 , D·M·韦内齐亚莱 , Y·童 , D·卢戈 , G·C·雅各布 , J·B·米勒 , T·Q·陈 , M·R·斯塔克 , A·旺克 , J·J·亨德伦
CPC分类号： B24D18/0009 , B24B37/044 , B24B37/24 , B24B53/017
摘要： 提供一种形成化学机械抛光垫复合抛光层的方法，其包括：提供第一连续非短效聚合相的第一抛光层组件，其具有多个周期性凹槽；将组合以5到1,000m/s的速度向第一抛光层组件排出，用所述组合填充所述多个周期性凹槽；使所述组合在所述多个周期性凹槽中固化形成第二非短效聚合相，获得复合结构；以及从所述复合结构获得所述化学机械抛光垫复合抛光层，其中所述化学机械抛光垫复合抛光层在所述第一抛光层组件的所述抛光侧上具有抛光表面；并且其中所述抛光表面调适成用于抛光衬底。
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公开(公告)号：CN107695869A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201610462790.4
申请日：2016-06-23
申请人： 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 , 陶氏环球技术有限责任公司
发明人： B·钱 , T·布鲁加罗拉斯 , 布鲁福 , J·考兹休克 , D·M·韦内齐亚莱 , Y·童 , D·卢戈 , G·C·雅各布 , J·B·米勒 , T·Q·陈 , M·R·斯塔克 , A·旺克 , J·J·亨德伦
CPC分类号： B24D18/0009 , B24B37/044 , B24B37/24 , B24B53/017 , B24B37/22 , B24B37/26
摘要： 提供一种形成化学机械抛光垫复合抛光层的方法，其包括：提供第一连续非短效聚合相的第一抛光层组件，其具有多个周期性凹槽；将组合以5到1,000m/s的速度向第一抛光层组件排出，用所述组合填充所述多个周期性凹槽；使所述组合在所述多个周期性凹槽中固化形成第二非短效聚合相，获得复合结构；以及从所述复合结构获得所述化学机械抛光垫复合抛光层，其中所述化学机械抛光垫复合抛光层在所述第一抛光层组件的所述抛光侧上具有抛光表面；并且其中所述抛光表面调适成用于抛光衬底。
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公开(公告)号：CN107627202A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201610461665.1
申请日：2016-06-23
申请人： 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 , 陶氏环球技术有限责任公司
CPC分类号： B24B37/26 , B24B1/00 , B24B37/044 , B24B37/22 , B24B37/24 , B24B53/017 , B29C70/66 , G02B1/12 , H01F41/00 , H01L21/30625 , H01L21/3212
摘要： 提供一种化学机械抛光垫，其含有：具有抛光表面的抛光层；其中所述抛光层包含第一连续非短效聚合物相和第二非短效聚合物相；其中所述第一连续非短效聚合物相具有多个周期性凹座；其中所述多个周期性凹座由所述第二非短效聚合物相所占据；其中所述第一连续非短效聚合物相的开孔孔隙率≤6体积％；其中所述第二非短效聚合物相的开孔孔隙率≥10体积％；以及其中所述抛光表面适于抛光衬底。
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