公开(公告)号：CN105658733A

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201480044622.2

申请日：2014-06-02

申请人： 霍尼韦尔国际公司

发明人： H.X.徐 ,  R.A.斯皮尔 ,  R.Y.梁 ,  L.M.梅廷 ,  谢松元 ,  Z.B.吴 ,  J.肯尼迪

IPC分类号： C09D1/00 ,  C01G23/04 ,  B01J13/00

CPC分类号： H01L21/3081 ,  C01G23/04 ,  C09D1/00 ,  C09D7/20

摘要： 提供了液体钛氧化物组合物、用于形成此类组合物的方法和用于使用此类组合物蚀刻材料层的方法。依照一个示例性的实施方案，液体钛氧化物组合物包含溶剂体系、有机钛酸酯和具有约140℃至约400℃的沸点的高沸点溶剂。

公开(公告)号：CN103748101A

公开(公告)日：2014-04-23

申请号：CN201280040752.X

申请日：2012-08-22

申请人： 霍尼韦尔国际公司

发明人： R.A.斯皮尔 ,  E.W.小拉特 ,  L.M.梅丁 ,  H.X.徐

IPC分类号： C07F7/04 ,  C07F5/02 ,  H01L21/203 ,  H01L29/167

CPC分类号： C07F7/04

摘要： 在本文中提供硼酸酯、含硼掺杂剂和制造含硼掺杂剂的方法。在一个实施方案中，硼酸酯包含硼和硅，其中硼通过经由酯键与硼和硅都键合的烷基连接到硅上。制造含硼掺杂剂的方法包括提供硼酸酯(盐)（borate）并使用多元醇取代的硅单体酯交换该硼酸酯(盐)。

公开(公告)号：CN103748101B

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201280040752.X

申请日：2012-08-22

申请人： 霍尼韦尔国际公司

发明人： R.A.斯皮尔 ,  E.W.小拉特 ,  L.M.梅丁 ,  H.X.徐

IPC分类号： C07F7/04 ,  C07F5/02 ,  H01L21/203 ,  H01L29/167

CPC分类号： C07F7/04

摘要： 在本文中提供硼酸酯、含硼掺杂剂和制造含硼掺杂剂的方法。在一个实施方案中，硼酸酯包含硼和硅，其中硼通过经由酯键与硼和硅都键合的烷基连接到硅上。制造含硼掺杂剂的方法包括提供硼酸酯(盐)（borate）并使用多元醇取代的硅单体酯交换该硼酸酯(盐)。

公开(公告)号：CN103890107A

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201280051982.6

申请日：2012-10-12

申请人： 霍尼韦尔国际公司

发明人： 周理古 ,  R.A.斯皮尔 ,  R.Y-K.梁 ,  樊文亚 ,  H.X.徐 ,  L.M.梅廷 ,  A.S.布哈纳普

IPC分类号： C09D11/03 ,  H01L21/265

CPC分类号： C09D11/02 ,  C08K5/5419 ,  C09D11/03 ,  C09D11/10 ,  C09D11/38 ,  C09D11/52 ,  H01L21/2225

摘要： 提供用于在半导体基底中形成掺杂区域的掺杂剂油墨组合物，以及用于制造掺杂剂油墨组合物的方法。在示例性实施方案中，掺杂剂油墨组合物包含掺杂剂化合物，该掺杂剂化合物包括至少一个连接至13族或15族元素的烷基。此外，该掺杂剂油墨组合物包括含硅化合物。