利用倾斜蒸镀的光刻方法

    公开(公告)号:CN102714140B

    公开(公告)日:2015-05-27

    申请号:CN201080044742.4

    申请日:2010-11-10

    发明人: 慎容范 李承雨

    IPC分类号: H01L21/027

    摘要: 本发明涉及一种利用倾斜蒸镀的光刻方法,所述方法的特征在于包括:步骤(1),在基板上表面涂布抗蚀剂;步骤(2),利用光刻工艺使所述抗蚀剂图案化;步骤(3),在图案化后的所述抗蚀剂的上层倾斜蒸镀第一薄膜材料,形成变形的图案掩膜;步骤(4),通过变形的所述图案掩膜,在所述基板的上表面蒸镀第二薄膜材料;及步骤(5),去除涂布在所述基板的上表面的抗蚀剂。

    用光热纳米材料激活催化剂的方法

    公开(公告)号:CN103052708A

    公开(公告)日:2013-04-17

    申请号:CN201180040015.5

    申请日:2011-08-18

    IPC分类号: C12N9/00 B01J37/34

    摘要: 本发明涉及通过光热纳米材料的光热特性提供用于激活催化剂的方法,更具体地,是在催化剂具有低活性或没有活性的温度下激活催化剂的方法,该方法是通过向加入所述催化剂和光热纳米材料或催化剂-光热纳米材料复合体的反应介质进行光照射来完成的。该方法通过在基本不改变所述反应介质的温度的状态下,仅提高所述纳米材料周围的温度而激活催化剂。根据该方法,在低温下可激活一般在室温下具有高活性的催化剂。换言之,将只在温和的条件下具有高活性的催化剂固定于光热纳米材料上,从而使它们在低温和极端条件下也具有活性。特别地,如使用在常温下不稳定的催化剂基质或生成常温下不稳定的产物,本发明会有帮助。此外,可通过光照射,将仅在高温下进行催化反应的化学催化剂或嗜热酶在低温或常温下激活,从而能节省能源。

    使用旋转镜的表面等离子共振传感器

    公开(公告)号:CN101802592B

    公开(公告)日:2013-01-09

    申请号:CN200880103517.6

    申请日:2008-08-13

    发明人: 郑凤铉 慎容范

    IPC分类号: G01N21/25

    摘要: 本发明公开了一种具有旋转镜的表面等离子共振传感器,包括(a)用于振荡作为入射光的激光的入射光源单元;(b)使所述入射光偏振的偏振器;(c)用于反射所述偏振入射光以散发成盘状光的圆柱状或平面状的旋转镜;(d)允许所述盘状光部分地穿过、且位于所述旋转镜的中心轴线的附近的遮光膜;(e)用于将穿过所述遮光膜的所述光聚焦在其上的圆柱状透镜;(f)用于接收聚焦在所述柱状透镜的所述光以产生表面等离子共振的金属薄膜;(g)设置在所述金属薄膜之下的介电介质;以及(h)探测所述从所述金属薄膜反射的光的探测器。该表面等离子共振传感器能够解决现有技术中激光作为入射光获得用于检测角度的图像和二维被反射光强度时出现的干涉问题,包括图像质量的恶化和取决于入射位置的光强度的变动。

    利用倾斜蒸镀的光刻方法

    公开(公告)号:CN102714140A

    公开(公告)日:2012-10-03

    申请号:CN201080044742.4

    申请日:2010-11-10

    发明人: 慎容范 李承雨

    IPC分类号: H01L21/027

    摘要: 本发明涉及一种利用倾斜蒸镀的光刻方法,所述方法的特征在于包括:步骤(1),在基板上表面涂布抗蚀剂;步骤(2),利用光刻工艺使所述抗蚀剂图案化;步骤(3),在图案化后的所述抗蚀剂的上层倾斜蒸镀第一薄膜材料,形成变形的图案掩膜;步骤(4),通过变形的所述图案掩膜,在所述基板的上表面蒸镀第二薄膜材料;及步骤(5),去除涂布在所述基板的上表面的抗蚀剂。

    使用旋转镜的表面等离子共振传感器

    公开(公告)号:CN101802592A

    公开(公告)日:2010-08-11

    申请号:CN200880103517.6

    申请日:2008-08-13

    发明人: 郑凤铉 慎容范

    IPC分类号: G01N21/25

    摘要: 本发明公开了一种具有旋转镜的表面等离子共振传感器,包括(a)用于振荡作为入射光的激光的入射光源单元;(b)使所述入射光偏振的偏振器;(c)用于反射所述偏振入射光以散发成盘状光的圆柱状或平面状的旋转镜;(d)允许所述盘状光部分地穿过、且位于所述旋转镜的中心轴线的附近的遮光膜;(e)用于将穿过所述遮光膜的所述光聚焦在其上的圆柱状透镜;(f)用于接收聚焦在所述柱状透镜的所述光以产生表面等离子共振的金属薄膜;(g)设置在所述金属薄膜之下的介电介质;以及(h)探测所述从所述金属薄膜反射的光的探测器。该表面等离子共振传感器能够解决现有技术中激光作为入射光获得用于检测角度的图像和二维被反射光强度时出现的干涉问题,包括图像质量的恶化和取决于入射位置的光强度的变动。