公开(公告)号：CN102745641B

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201210114188.3

申请日：2012-04-18

Applicant: 飞思卡尔半导体公司

Inventor： 林义真 ,  G·G·李 ,  A·C·迈克奈尔 ,  L·Z·张 ,  T·F·米勒

IPC: B81B7/00

CPC classification number: B81B3/0072 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/0307

Abstract: 一种MEMS装置(20)包括验证质块(32)，其耦接到不可移动结构(30)并且围绕所述不可移动结构。不可移动结构(30)包括从该结构(30)的主体(34)向外延伸的固定指(36，38)。验证质块(32)包括可移动指(60)，其每一都设置在一对(62)固定指(36，38)之间。主体(34)的中央区域(32)耦接到下面的基板(24)，而验证质块(32)和不可移动结构(30)的其余部分悬置在基板(24)上方，以将MEMS装置(20)与封装应力极大地隔离开。另外，MEMS装置(20)包括隔离沟槽(80)和互谅(46，50，64)，从而将固定指(36)、固定指(38)、可移动指(60)彼此电隔离，以形成差分装置结构。

公开(公告)号：CN102745641A

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN201210114188.3

申请日：2012-04-18

Applicant: 飞思卡尔半导体公司

Inventor： 林义真 ,  G·G·李 ,  A·C·迈克奈尔 ,  L·Z·张 ,  T·F·米勒

IPC: B81B7/00

CPC classification number: B81B3/0072 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/0307

Abstract: 一种MEMS装置(20)包括验证质块(32)，其耦接到不可移动结构(30)并且围绕所述不可移动结构。不可移动结构(30)包括从该结构(30)的主体(34)向外延伸的固定指(36，38)。验证质块(32)包括可移动指(60)，其每一都设置在一对(62)固定指(36，38)之间。主体(34)的中央区域(32)耦接到下面的基板(24)，而验证质块(32)和不可移动结构(30)的其余部分悬置在基板(24)上方，以将MEMS装置(20)与封装应力极大地隔离开。另外，MEMS装置(20)包括隔离沟槽(80)和互谅(46，50，64)，从而将固定指(36)、固定指(38)、可移动指(60)彼此电隔离，以形成差分装置结构。