公开(公告)号：CN102460640A

公开(公告)日：2012-05-16

申请号：CN201080026047.5

申请日：2010-06-08

申请人： 高级技术材料公司

发明人： 史蒂文·M·卢尔科特 ,  约翰·E·Q·休斯 ,  彼得·弗尔施卡 ,  托马斯·H·鲍姆 ,  唐纳德·D·韦尔 ,  邹鹏

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/20 ,  H01L21/302 ,  H01L21/304

CPC分类号： B01F15/0203 ,  B01F3/0861 ,  B01F15/0258 ,  B01F2003/0896 ,  B65B3/14 ,  B67D7/025 ,  B67D7/0261 ,  B67D7/0283 ,  B67D7/741

摘要： 本发明公开了用于将包含流体的给料物质输送至处理设备的系统和方法。通过在衬套与外层包装之间施加真空，来填充基于衬套的压力分配容器。可针对单个给料物质选择性地并行操作不同校准流量范围的多个给料物质流量控制器。可对由多个基于衬套的压力分配容器供应的给料物质执行给料物质混合和测试以用于按比例增加。可用重力测量系统来确定多成分溶液或混合物中至少一种成分的浓度。