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公开(公告)号：CN108136564A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680058703.7
申请日：2016-10-07
申请人： 3M创新有限公司
摘要： 本公开涉及抛光垫，该抛光垫包括抛光层、多孔基底和界面区域。本公开涉及一种制备该抛光垫的方法。本公开涉及一种抛光基底的方法，抛光的方法包括：提供根据先前抛光垫中的任一个的抛光垫；提供基底，使抛光垫的工作表面与基底表面接触，在维持抛光垫的工作表面与基底表面之间的接触的同时使抛光垫和基底相对于彼此移动，其中在抛光溶液存在的情况下进行抛光。
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公开(公告)号：CN106132630B
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201580017813.4
申请日：2015-03-31
申请人： 3M创新有限公司
摘要： 本发明涉及包括抛光层的抛光垫，其中所述抛光层包括工作表面和与所述工作表面相背对的第二表面。该工作表面包括多个精确成形孔和多个精确成形微凸体中的至少一者。本公开还涉及一种抛光系统，该抛光系统包括上述抛光垫和抛光液。本公开涉及一种抛光基板的方法，该抛光方法包括：提供根据前述抛光垫中任一种的抛光垫；提供基板，将所述抛光垫的所述工作表面与所述基板表面接触，相对彼此移动所述抛光垫和所述基板，同时保持所述抛光垫的所述工作表面与所述基板表面之间的接触，其中抛光是在抛光液的存在下进行的。
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公开(公告)号：CN105579194B
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201480052077.1
申请日：2014-09-23
申请人： 3M创新有限公司
摘要： 本发明公开了一种多层抛光垫布置结构，所述多层抛光垫布置结构包括具有第一顶部主表面和第一底部主表面的第一抛光垫层、具有第二顶部主表面和第二底部主表面的第二抛光垫层、和设置在所述第一底部表面与所述第二顶部表面之间的耦接布置结构。所述第一抛光垫层和所述第二抛光垫层中的每个的厚度在介于0.125mm和10mm之间的范围内。
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公开(公告)号：CN106163740A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201580018328.9
申请日：2015-03-31
申请人： 3M创新有限公司
摘要： 本发明涉及一种包括抛光层的抛光垫，其中该抛光层包括工作表面和与该工作表面相背对的第二表面。该工作表面包括底面区域、多个精确成形孔、和多个精确成形微凸体。本公开还涉及一种抛光系统，该抛光系统包括上述抛光垫和抛光液。本公开涉及一种对基板进行抛光的方法，该抛光方法包括：根据前述抛光垫中的任一抛光垫来提供该抛光垫；提供基板；使抛光垫的工作表面与基板表面接触；使抛光垫和基板相对于彼此移动，同时维持抛光垫的工作表面与基板表面之间的接触，其中抛光是在抛光液的存在下进行的。
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公开(公告)号：CN108177094A
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201810131892.7
申请日：2013-07-31
申请人： 3M创新有限公司
摘要： 本发明涉及具有精确成形特征部的研磨元件前体及其制造方法。具体地，本发明提供了一种研磨元件前体，该研磨元件前体包括生坯陶瓷元件，生坯陶瓷元件具有第一主表面、第二主表面、多个无机粒子和粘结剂。至少第一主表面包括多个精确成形特征部。多个无机粒子是按重量计至少约99％的碳化物陶瓷。
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公开(公告)号：CN106132630A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201580017813.4
申请日：2015-03-31
申请人： 3M创新有限公司
摘要： 本发明涉及包括抛光层的抛光垫，其中所述抛光层包括工作表面和与所述工作表面相背对的第二表面。该工作表面包括多个精确成形孔和多个精确成形微凸体中的至少一者。本公开还涉及一种抛光系统，该抛光系统包括上述抛光垫和抛光液。本公开涉及一种抛光基板的方法，该抛光方法包括：提供根据前述抛光垫中任一种的抛光垫；提供基板，将所述抛光垫的所述工作表面与所述基板表面接触，相对彼此移动所述抛光垫和所述基板，同时保持所述抛光垫的所述工作表面与所述基板表面之间的接触，其中抛光是在抛光液的存在下进行的。
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公开(公告)号：CN105579194A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201480052077.1
申请日：2014-09-23
申请人： 3M创新有限公司
摘要： 本发明公开了一种多层抛光垫布置结构，所述多层抛光垫布置结构包括具有第一顶部主表面和第一底部主表面的第一抛光垫层、具有第二顶部主表面和第二底部主表面的第二抛光垫层、和设置在所述第一底部表面与所述第二顶部表面之间的耦接布置结构。所述第一抛光垫层和所述第二抛光垫层中的每个的厚度在介于0.125mm和10mm之间的范围内。
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公开(公告)号：CN104736299A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201380041063.5
申请日：2013-07-31
申请人： 3M创新有限公司
摘要： 本发明提供了一种研磨制品，所述研磨制品包括第一研磨元件、第二研磨元件、具有第一主表面和第二主表面的弹性元件和载体。所述第一研磨元件和所述第二研磨元件各自包括第一主表面和第二主表面。所述第一研磨元件和所述第二研磨元件的至少第一主表面包括多个精确成形特征部。研磨元件包括基本上无机、单体结构。
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