公开(公告)号：CN118056759A

公开(公告)日：2024-05-21

申请号：CN202311524907.3

申请日：2023-11-15

申请人： ASM IP私人控股有限公司

发明人： J·L·温科勒 ,  P·马 ,  E·J·希罗 ,  S·加格 ,  J·巴基 ,  T·邓恩 ,  J·伦奇 ,  S·张

IPC分类号： B65D25/52 ,  B65D25/00 ,  B65D85/00 ,  B65D81/18 ,  H01L21/677 ,  B08B9/08

摘要： 本技术的各种实施例可以提供用于清洁源容器的方法和装置。源容器可以用溶剂填充或部分填充以形成溶液。溶液从源容器中移出并包含在与源容器相连的废物容器中。废物容器内部可具有波纹管或其他机构，以在废物容器中产生负压，从而将溶液从源容器中抽出并进入废物容器。可替代地，可以使用液体泵将溶液从源容器抽到废物容器中。

公开(公告)号：CN118166337A

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202311668476.8

申请日：2023-12-06

申请人： ASM IP私人控股有限公司

发明人： J·L·温科勒 ,  J·伦奇 ,  P·马 ,  T·R·邓恩 ,  J·巴基 ,  E·J·希罗 ,  S·张 ,  S·加格 ,  Y·白

IPC分类号： C23C16/448 ,  H01L21/67

摘要： 本技术的各种实施例可提供容纳固体前体粉末和惰性液体的浆料的第一容器、接收浆料、蒸发惰性液体并第一次升华固体前体粉末以形成蒸气的第二容器、将蒸气再冷凝回固态并第二次升华固体前体以形成蒸气的第三容器以及接收来自第三容器的蒸气的反应室。

公开(公告)号：CN118272787A

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202311812836.7

申请日：2023-12-26

申请人： ASM IP私人控股有限公司

发明人： E·J·希罗 ,  J·巴基 ,  A·P·瓦希 ,  T·R·邓恩 ,  P·马 ,  J·伦奇 ,  J·L·温克勒 ,  S·张 ,  S·加格 ,  Y·白

IPC分类号： C23C16/455 ,  C23C16/458

摘要： 一种衬底处理系统包括具有第一内部容积的输送容器，其设置在衬底处理平台上的第一位置；远程再填充容器，其通过化学物质输送管线与输送容器流体连通，该远程再填充容器包括大于第一内部容积的第二内部容积，并设置在远离衬底处理平台的第二位置；以及第一加热装置或第一加压装置或者其组合，接近远程再填充容器，可操作以加热或加压或者其组合，设置在远程再填充容器中的化学物质足以将化学物质的相从第一相改变为第二相。