公开(公告)号：CN114450641A

公开(公告)日：2022-05-06

申请号：CN202080067961.8

申请日：2020-09-14

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： 阿里·阿尔萨卡 ,  J·亚当斯 ,  李斌

IPC: G03F9/00

Abstract: 一种用于确定衬底的对准的设备和方法，其中，对对准标记进行照射的辐射源的强度是根据系统中的用于将模拟信号转换成数字信号的元件处于对所述信号进行采样的模式还是处于对所述信号进行转换并且因此对所述信号中的改变不敏感的模式而变化的，因而降低了所述衬底或系统光学部件暴露于所述照射辐射的量。

公开(公告)号：CN114450641B

公开(公告)日：2024-07-19

申请号：CN202080067961.8

申请日：2020-09-14

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： 阿里·阿尔萨卡 ,  J·亚当斯 ,  李斌

IPC: G03F9/00

Abstract: 一种用于确定衬底的对准的设备和方法，其中，对对准标记进行照射的辐射源的强度是根据系统中的用于将模拟信号转换成数字信号的元件处于对所述信号进行采样的模式还是处于对所述信号进行转换并且因此对所述信号中的改变不敏感的模式而变化的，因而降低了所述衬底或系统光学部件暴露于所述照射辐射的量。

公开(公告)号：CN116324611A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202180053627.1

申请日：2021-08-03

Applicant: ASML荷兰有限公司 ,  ASML控股股份有限公司

Inventor： 阿里·阿尔萨卡 ,  A·帕特尔 ,  帕特里克·塞巴斯蒂安·于贝尔 ,  A·阿布多尔万德 ,  鲍拉斯·安东尼斯·安德里亚斯·特尤尼森 ,  W·F·科安达尔姆

IPC: G02F1/35

Abstract: 描述了一种辐射源布置，包括：辐射源，辐射源可操作以产生包括源能量脉冲的源辐射；以及至少一个非线性能量滤波器，非线性能量滤波器可操作以对源辐射进行滤波，以获得包括经滤波的能量脉冲的经滤波的辐射。至少一个非线性能量滤波器可操作以，通过使能量水平对应于源能量脉冲的能量分布的两个端部中的一个的源能量脉冲的能量水平比能量水平对应于能量分布的峰值的源能量脉冲的能量水平降低更大量，来减小经滤波的辐射的能量变化。

公开(公告)号：CN116830011A

公开(公告)日：2023-09-29

申请号：CN202280012420.4

申请日：2022-01-12

Applicant: ASML荷兰有限公司 ,  ASML控股股份有限公司

Inventor： 阿里·阿尔萨卡 ,  帕特里克·塞巴斯蒂安·于贝尔 ,  鲍拉斯·安东尼斯·安德里亚斯·特尤尼森

IPC: G02B26/08

Abstract: 一种光学滤波器设备包括：光学发散装置，可操作以接收光学脉冲并且根据所述光学脉冲中的每个光学脉冲的脉冲能量在光学平面上对光学脉冲进行空间分布；以及空间滤波器，位于所述光学平面处，可操作以基于由所述空间分布导致的所述光学脉冲中的每个光学脉冲在所述光学平面处的位置来将空间滤波应用于所述光学脉冲。