公开(公告)号：CN114270259A

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN202080056946.3

申请日：2020-08-05

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： Y·弗拉迪米斯基 ,  M·阿里夫 ,  J·H·瓦尔什

IPC: G03F1/44 ,  G03F7/20

Abstract: 一种用于诸如掩模版的掩模版的码标记，其中标记的各个元件包括衍射光栅，使得元件的视亮度取决于来自元件的光是否被衍射到读取器的透镜的数值孔径内或数值孔径外。

公开(公告)号：CN112292640B

公开(公告)日：2024-12-17

申请号：CN201980039536.5

申请日：2019-06-11

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： Y·弗拉迪米斯基 ,  R·J·瓦德 ,  M·阿里夫 ,  L·雷日科夫 ,  R·V·古纳瓦达纳

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

Abstract: 公开了一种用于对处于多个位置(400；410)中的任何一个位置处的物体成像的系统，该系统包括：一个或多个分束器(420)，每个分束器(420)将来自物体的光分成成像束和连续束；以及用于每个分束器的光学元件，该光学元件接收成像束并且在物体处于相应位置时对物体成像。

公开(公告)号：CN112292640A

公开(公告)日：2021-01-29

申请号：CN201980039536.5

申请日：2019-06-11

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： Y·弗拉迪米斯基 ,  R·J·瓦德 ,  M·阿里夫 ,  L·雷日科夫 ,  R·V·古纳瓦达纳

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

Abstract: 公开了一种用于对处于多个位置(400；410)中的任何一个位置处的物体成像的系统，该系统包括：一个或多个分束器(420)，每个分束器(420)将来自物体的光分成成像束和连续束；以及用于每个分束器的光学元件，该光学元件接收成像束并且在物体处于相应位置时对物体成像。