公开(公告)号：CN115136276A

公开(公告)日：2022-09-30

申请号：CN202180015158.4

申请日：2021-02-15

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： M·A·范德凯克霍夫 ,  张景 ,  M·P·C·范赫尤门 ,  P·A·A·M·布鲁斯 ,  王二恒 ,  V·沙玛 ,  M·塞法 ,  傅邵维 ,  S·M·斯科拉里 ,  J·A·H·M·雅各布斯

IPC分类号： H01J37/18 ,  H01J37/20

摘要： 公开了用于将流体传送至带电粒子束系统中的台的装置、系统和方法。在一些实施例中，台可以被配置为固定晶片；腔可以被配置为容纳台；并且管可以被设置在腔中，以在台和腔外部之间传送流体。管可以包括第一材料的第一管状层，其中，第一材料是柔性聚合物；以及第二材料的第二管状层，其中，第二材料被配置为减少流体或气体穿过管的渗透。在一些实施例中，一种系统可以包括位于腔的外部的脱气系统，其中，脱气系统可以被配置为在传送流体进入管之前，从传送流体中去除气体。