公开(公告)号：CN113614872A

公开(公告)日：2021-11-05

申请号：CN201980086941.2

申请日：2019-12-19

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： 罗映 ,  董仲华 ,  殷学会 ,  狄隆 ,  邓年沛 ,  方伟 ,  浦凌凌 ,  费若冲 ,  朱博航 ,  刘瑜

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/20 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28

Abstract: 公开了一种带电粒子束系统(300)。带电粒子束系统包括平台(201)，该平台被配置为保持样本(203)并且能够在X‑Y‑Z轴中的至少一个轴上移动。带电粒子束系统还包括用于确定平台的横向位移和竖直位移的定位感测系统(350,340)以及束偏转控制器(367)，该束偏转控制器(367)被配置为：施加第一信号，以将入射在样本上的初级带电粒子束(330)偏转来至少部分地补偿横向位移；以及施加第二信号，以调整入射在样本上的经偏转的带电粒子束的焦点来至少部分地补偿平台的竖直位移。第一信号和第二信号可以包括分别具有在10kHz至50kHz以及50kHz至200kHz的范围中的高带宽的电信号。另外，公开了一种非暂时性计算机可读介质，包括用于使装置(300)执行方法的指令的集合，装置包括带电粒子源(310)以生成初级带电粒子束(314,330)，该方法包括：确定平台(201)的横向位移，其中平台能够在X‑Y轴中的至少一个轴上移动；以及指示控制器(367)施加第一信号，以使入射在样本(203)上的初级带电粒子束偏转来至少部分地补偿横向位移。