公开(公告)号：CN110869854B

公开(公告)日：2022-06-10

申请号：CN201880046240.1

申请日：2018-06-20

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： 钟玲莉 ,  B·拉方丹 ,  M·J·基亚 ,  Y·尤迪斯蒂拉 ,  M·P·F·格宁

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种方法，包括获得由器件制造过程产生的衬底上的多个图案的特征验证值；使用非概率模型获得特征计算值；基于验证值和计算值获得非概率模型的残差值；以及基于残差值获得残差分布的属性。本文还公开了计算由器件制造过程产生的衬底上的缺陷的概率的方法，以及获得非概率模型残差分布的属性的方法。

公开(公告)号：CN110869854A

公开(公告)日：2020-03-06

申请号：CN201880046240.1

申请日：2018-06-20

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： 钟玲莉 ,  B·拉方丹 ,  M·J·基亚 ,  Y·尤迪斯蒂拉 ,  M·P·F·格宁

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种方法，包括获得由器件制造过程产生的衬底上的多个图案的特征验证值；使用非概率模型获得特征计算值；基于验证值和计算值获得非概率模型的残差值；以及基于残差值获得残差分布的属性。本文还公开了计算由器件制造过程产生的衬底上的缺陷的概率的方法，以及获得非概率模型残差分布的属性的方法。