公开(公告)号：CN115335952A

公开(公告)日：2022-11-11

申请号：CN202180024180.5

申请日：2021-03-15

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： A·B·斯特罗姆 ,  J·F·C·范古普 ,  J·C·J·德兰根 ,  A·Y-F·阿亚尔 ,  M·M·布鲁伊宁克 ,  C·R·范登贝格 ,  C·奥滕 ,  L·迪努·古特勒 ,  M·斯米茨

IPC: H01J37/09 ,  G01N23/2251 ,  H01J37/317 ,  B41J2/14 ,  H01J9/02 ,  H01J29/80

Abstract: 本文公开了一种包括多个衬底的衬底堆叠，其中：衬底堆叠中的每个衬底包括至少一个对准开口组；在每个衬底中的至少一个对准开口组被对准，以用于使光束穿过每个衬底中对应的对准开口；并且每个衬底包括至少一个对准开口，该至少一个对准开口具有比其他衬底中对应的对准开口更小的直径。

公开(公告)号：CN115176325A

公开(公告)日：2022-10-11

申请号：CN202180015873.8

申请日：2021-02-10

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： A·B·斯特罗姆 ,  J·F·C·范古普 ,  H·K·伊瓦斯蒂 ,  A·Y-F·阿亚尔 ,  S·W·H·K·斯蒂恩布林克 ,  M·J-J·维兰德

IPC: H01J9/42 ,  H01J37/09

Abstract: 本文公开了一种用于测试电子光学组件的电子光学组件测试系统，该系统包括:带电粒子源(601)，带电粒子源(601)被配置为发射带电粒子束；电子光学组件保持器(604)，电子光学组件保持器(604)被配置为保持待测试电子光学组件(401)，使得当系统与由电子光学组件保持器保持的电子光学组件一起使用时，电子光学组件被束照射；以及子束检测器(607)，子束检测器(607)用于检测已经透射通过电子光学组件的带电粒子子束。