公开(公告)号：CN106462082A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580031089.0

申请日：2015-05-07

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： R·H·M·考蒂 ,  C·W·J·贝德伦森 ,  A·B·珍宁科 ,  A·H·考沃埃特斯 ,  J·V·奥沃卡姆普 ,  S·A·特姆普 ,  V·V·伟越 ,  D·E·R·阿登纳特德

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/7095 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70733 ,  G03F7/70875 ,  G03F7/70891

摘要： 一种光刻设备包括：通道(46)，用于两相流从其中通过，其中通道形成在块体内，所述块体具有第一材料(100)；第二材料(160)，介于第一材料和通道之间，其中第二材料具有大于第一材料的比热容的比热容；和第三材料(90)，介于第二材料和通道之间，其中第三材料具有大于第二材料的导热率的导热率。

公开(公告)号：CN106462082B

公开(公告)日：2018-05-18

申请号：CN201580031089.0

申请日：2015-05-07

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： R·H·M·考蒂 ,  C·W·J·贝德伦森 ,  A·B·珍宁科 ,  A·H·考沃埃特斯 ,  J·V·奥沃卡姆普 ,  S·A·特姆普 ,  V·V·伟越 ,  D·E·R·阿登纳特德

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/7095 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70733 ,  G03F7/70875 ,  G03F7/70891

摘要： 一种光刻设备包括：通道(46)，用于两相流从其中通过，其中通道形成在块体内，所述块体具有第一材料(100)；第二材料(160)，介于第一材料和通道之间，其中第二材料具有大于第一材料的比热容的比热容；和第三材料(90)，介于第二材料和通道之间，其中第三材料具有大于第二材料的导热率的导热率。