公开(公告)号：CN113228223A

公开(公告)日：2021-08-06

申请号：CN201980087099.4

申请日：2019-12-06

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： G·洛里托 ,  S·尼蒂亚诺维 ,  梁心清 ,  金井建一

IPC分类号： H01J37/244 ,  G01T1/28 ,  H01L31/115 ,  H01J37/28

摘要： 本公开描述了一种用在临界尺寸扫描电子显微镜(CD‑SEM)中且再检测SEM系统的检测器。在一个实施例中，检测器包括具有p‑n结和孔的半导体结构，扫描光束穿过该孔被传送到目标。检测器还包括用于p‑n结的顶部电极(250)(例如，阳极电极或阴极)，顶部电极提供用于检测电子或电磁辐射(例如，来自目标的反向散射)的有效区域。顶部电极具有掺杂层(230)和在掺杂层下方的掩埋部分(260)，以减小顶部电极的串联电阻而不改变有效区域。在另一实施例中，可以在半导体结构中靠近孔的侧壁处形成隔离结构，以将有效区域与侧壁电隔离。还描述了一种形成顶部电极的掩埋部分的方法。