公开(公告)号：CN102749809B

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201210116902.2

申请日：2012-04-19

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： S·N·L·多恩德尔斯 ,  V·Y·班尼恩 ,  J·H·J·莫尔斯 ,  M·C·M·维哈根 ,  O·W·V·费里基恩斯 ,  G·范冬克 ,  H·J·范格尔纳

IPC分类号： G03F7/20 ,  F25B29/00

CPC分类号： G03F7/70858 ,  F28D15/0266

摘要： 本发明公开了一种用于热调节光刻设备的部份的热调节系统及热调节方法。所述系统包括：蒸发器，定位成与部份热接触，以通过蒸发器内流体的蒸发来从部份提取热量；冷凝器，定位成与部份相距一距离，用于通过冷凝器内流体的冷凝来从冷凝器内的流体去除热量；流体管路，布置在蒸发器和冷凝器之间，以形成流体能在其中流动的回路；泵，布置在回路中，以使流体在回路中循环；储存器，用于保持流体，储存器与回路流体连通且包括热交换器；温度传感器，用于提供表示流体温度的测量信号；及控制器，用于基于测量信号、通过调整热交换器传递至储存器内的流体或者从储存器内的流体传递的热量，而将回路内流体的温度保持为基本恒定。

公开(公告)号：CN102749809A

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN201210116902.2

申请日：2012-04-19

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： S·N·L·多恩德尔斯 ,  V·Y·班尼恩 ,  J·H·J·莫尔斯 ,  M·C·M·维哈根 ,  O·W·V·费里基恩斯 ,  G·范冬克 ,  H·J·范格尔纳

IPC分类号： G03F7/20 ,  F25B29/00

CPC分类号： G03F7/70858 ,  F28D15/0266

摘要： 本发明公开了一种用于热调节光刻设备的部份的热调节系统及热调节方法。所述系统包括：蒸发器，定位成与部份热接触，以通过蒸发器内流体的蒸发来从部份提取热量；冷凝器，定位成与部份相距一距离，用于通过冷凝器内流体的冷凝来从冷凝器内的流体去除热量；流体管路，布置在蒸发器和冷凝器之间，以形成流体能在其中流动的回路；泵，布置在回路中，以使流体在回路中循环；储存器，用于保持流体，储存器与回路流体连通且包括热交换器；温度传感器，用于提供表示流体温度的测量信号；及控制器，用于基于测量信号、通过调整热交换器传递至储存器内的流体或者从储存器内的流体传递的热量，而将回路内流体的温度保持为基本恒定。