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公开(公告)号：CN1487368A
公开(公告)日：2004-04-07
申请号：CN03157743.1
申请日：2003-08-27
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: G03F9/00 , G03F7/20 , G02B27/32 , H01L21/027
CPC classification number: G03F9/7084 , G03F9/7076
Abstract: 一种附加的光学元件可在调准期间设置在调准光束中。当调准光束具有距衬底前表面不同的焦距时，该光学元件可将调准光束聚焦到衬底的调准标记上。
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