公开(公告)号：CN101803001A

公开(公告)日：2010-08-11

申请号：CN200880107793.X

申请日：2008-09-19

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： A·J·C·斯吉本 ,  T·A·R·凡埃姆派尔 ,  R·维色 ,  J·H·G·弗朗森 ,  阳宗全 ,  A·布拉尔斯 ,  A·P·瑞吉普玛

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/687

CPC分类号： H01L21/6831 ,  G03F7/70708 ,  H01L21/6875

摘要： 本发明涉及一种用于光刻设备中的静电夹持装置，其包括设置有突节的材料层，其中由绝缘体和/或电介质材料包围的电极设置在突节之间，以及本发明涉及一种制造这种静电夹持装置的方法。该静电夹持装置可以用于将物体夹持到光刻设备中的物体支撑结构。

公开(公告)号：CN101803001B

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：CN200880107793.X

申请日：2008-09-19

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： A·J·C·斯吉本 ,  T·A·R·凡埃姆派尔 ,  R·维色 ,  J·H·G·弗朗森 ,  阳宗全 ,  A·布拉尔斯 ,  A·P·瑞吉普玛

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/687

CPC分类号： H01L21/6831 ,  G03F7/70708 ,  H01L21/6875

摘要： 本发明涉及一种用于光刻设备中的静电夹持装置，其包括设置有突节的材料层，其中由绝缘体和/或电介质材料包围的电极设置在突节之间，以及本发明涉及一种制造这种静电夹持装置的方法。该静电夹持装置可以用于将物体夹持到光刻设备中的物体支撑结构。