公开(公告)号：CN101803001B

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：CN200880107793.X

申请日：2008-09-19

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： A·J·C·斯吉本 ,  T·A·R·凡埃姆派尔 ,  R·维色 ,  J·H·G·弗朗森 ,  阳宗全 ,  A·布拉尔斯 ,  A·P·瑞吉普玛

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/687

CPC分类号： H01L21/6831 ,  G03F7/70708 ,  H01L21/6875

摘要： 本发明涉及一种用于光刻设备中的静电夹持装置，其包括设置有突节的材料层，其中由绝缘体和/或电介质材料包围的电极设置在突节之间，以及本发明涉及一种制造这种静电夹持装置的方法。该静电夹持装置可以用于将物体夹持到光刻设备中的物体支撑结构。

公开(公告)号：CN115023654A

公开(公告)日：2022-09-06

申请号：CN202080094891.5

申请日：2020-12-21

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： 黄仰山 ,  R·维色

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 相对于参考物(RE)可移动的工作台(ST)包括：轴承(BE)，用于支撑和引导所述工作台相对于二维平面中的所述参考物的移动；以及致动器系统(ACT)，用于相对于所述参考物向所述工作台施加力，以相对于所述二维平面中的所述参考物移动或定位所述工作台，其中所述致动器系统包括至少一个致动器装置(CL)，所述至少一个致动器装置(CL)被配置为具有：接合模式，其中所述致动器装置与所述工作台接合以允许所述工作台与所述致动器装置一起移动；以及分离模式，其中所述致动器装置与所述工作台分离，允许所述工作台和所述致动器装置独立移动。

公开(公告)号：CN101803001A

公开(公告)日：2010-08-11

申请号：CN200880107793.X

申请日：2008-09-19

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： A·J·C·斯吉本 ,  T·A·R·凡埃姆派尔 ,  R·维色 ,  J·H·G·弗朗森 ,  阳宗全 ,  A·布拉尔斯 ,  A·P·瑞吉普玛

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/687

CPC分类号： H01L21/6831 ,  G03F7/70708 ,  H01L21/6875

摘要： 本发明涉及一种用于光刻设备中的静电夹持装置，其包括设置有突节的材料层，其中由绝缘体和/或电介质材料包围的电极设置在突节之间，以及本发明涉及一种制造这种静电夹持装置的方法。该静电夹持装置可以用于将物体夹持到光刻设备中的物体支撑结构。