公开(公告)号：CN105940349B

公开(公告)日：2020-01-17

申请号：CN201480074178.9

申请日：2014-12-19

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： M·F·A·厄尔林斯 ,  N·A·J·M·克里曼斯 ,  A·J·J·范迪杰西尔多克 ,  R·M·霍夫斯特拉 ,  O·F·J·努德曼 ,  T·N·费姆 ,  J·B·P·范斯库特 ,  J-C·王 ,  K·W·张

IPC分类号： G03F7/20 ,  F21V7/09 ,  G02B27/09 ,  H05G2/00

摘要： 一种琢面反射器(32,32”)，用于接收入射辐射束(2)并引导反射辐射束至目标。琢面反射器包括多个琢面，多个琢面中的每个琢面都包括反射表面。多个琢面的第一子集的每个琢面的反射表面限定第一连续表面的对应部分，并且被配置为在第一方向上反射入射辐射束的对应第一部分以提供反射辐射束的第一部分。多个琢面的第二子集的每个琢面的反射表面限定第二连续表面的对应部分，并且被配置为在第二方向上反射入射辐射束的对应第二部分以提供反射辐射束的第二部分。

公开(公告)号：CN105940349A

公开(公告)日：2016-09-14

申请号：CN201480074178.9

申请日：2014-12-19

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： M·F·A·厄尔林斯 ,  N·A·J·M·克里曼斯 ,  A·J·J·范迪杰西尔多克 ,  R·M·霍夫斯特拉 ,  O·F·J·努德曼 ,  T·N·费姆 ,  J·B·P·范斯库特 ,  J-C·王 ,  K·W·张

IPC分类号： G03F7/20 ,  F21V7/09 ,  G02B27/09 ,  H05G2/00

摘要： 一种琢面反射器(32,32”)，用于接收入射辐射束(2)并引导反射辐射束至目标。琢面反射器包括多个琢面，多个琢面中的每个琢面都包括反射表面。多个琢面的第一子集的每个琢面的反射表面限定第一连续表面的对应部分，并且被配置为在第一方向上反射入射辐射束的对应第一部分以提供反射辐射束的第一部分。多个琢面的第二子集的每个琢面的反射表面限定第二连续表面的对应部分，并且被配置为在第二方向上反射入射辐射束的对应第二部分以提供反射辐射束的第二部分。