公开(公告)号：CN113196180B

公开(公告)日：2024-08-20

申请号：CN201980084736.2

申请日：2019-12-12

Applicant: ASML控股股份有限公司 ,  ASML荷兰有限公司

Inventor： T·M·T·A·M·埃拉扎里 ,  F·G·C·比基恩 ,  亚历山德罗·波洛 ,  K·U·索博列夫 ,  S·R·胡伊斯曼 ,  J·L·克勒泽

IPC: G03F9/00

Abstract: 一种用于确定衬底对准的设备和方法，其中利用空间相干辐射同时照射多个对准标记，并且并行地收集来自被照射标记的光以获得关于标记的位置和标记内的变形的信息。

公开(公告)号：CN113196180A

公开(公告)日：2021-07-30

申请号：CN201980084736.2

申请日：2019-12-12

Applicant: ASML控股股份有限公司 ,  ASML荷兰有限公司

Inventor： T·M·T·A·M·埃拉扎里 ,  F·G·C·比基恩 ,  亚历山德罗·波洛 ,  K·U·索博列夫 ,  S·R·胡伊斯曼 ,  J·L·克勒泽

IPC: G03F9/00

Abstract: 一种用于确定衬底对准的设备和方法，其中利用空间相干辐射同时照射多个对准标记，并且并行地收集来自被照射标记的光以获得关于标记的位置和标记内的变形的信息。

公开(公告)号：CN118679430A

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN202380020575.7

申请日：2023-01-04

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： K·肖梅 ,  E·R·菲南 ,  K·U·索博列夫 ,  J·亚当斯 ,  J·S·路德尼 ,  林宇翔 ,  E·B·凯蒂

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

Abstract: 一种系统，包括成像系统、空间滤波器和探测器。所述系统被配置成接收多个衍射阶。所述空间滤波器被配置成阻挡所述多个衍射阶中的一个或更多个不期望的衍射阶并且使所述多个衍射阶中的一个或更多个期望的衍射阶通过。所述空间滤波器包括具有在方位角上变化的依赖于角度的半径的一个或更多个遮蔽部。所述探测器被配置成接收和测量所述一个或更多个期望的衍射阶的强度。所述空间滤波器是机动化的。

公开(公告)号：CN119404151A

公开(公告)日：2025-02-07

申请号：CN202380049269.6

申请日：2023-06-07

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： K·U·索博列夫 ,  K·肖姆

IPC: G03F9/00

Abstract: 描述了一种通过使用玻璃板来产生离轴照射束的对准系统的新方法。将一对玻璃板插入到对准系统以产生一对离轴照射束。离轴照射束穿过孔径光阑。具有多个全反射镜的透射光学器件将射束朝向物镜反射。此后，物镜将射束聚焦到衬底上的对准标记上。然后，检测并分析衍射射束以确定衬底的对准。玻璃板对准系统的紧凑性显著减小了光学系统的占位空间。

公开(公告)号：CN118679433A

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN202280091660.8

申请日：2022-12-14

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： K·U·索博列夫 ,  K·肖梅

IPC: G03F9/00

Abstract: 描述了被引导向目标的照射点。照射点是从单个照射源生成的。晶片对准传感器中通常普遍的重影反射被减少或消除。描述了第一点反射镜、第二点反射镜和第三点反射镜。第一点反射镜沿着第一轴接收照射，将照射的第一部分反射远离第一轴，并且将照射的第二部分沿着第一轴透射。第二点反射镜接收所反射的照射的第一部分，并且沿着第二轴至少部分地反射照射的第三部分。第三点反射镜沿着第三轴接收并且完全反射照射的第四部分。照射的第二部分、第三部分和第四部分以相对于彼此的不同角度被引导向目标，以创建三个不同的照射点。