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公开(公告)号：CN117678048A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202280050911.8
申请日：2022-07-13
Applicant: ASML荷兰有限公司
Abstract: 一种用于检测由带电粒子评估系统生成的样品图像数据中的缺陷的数据处理设备，该设备包括：第一处理模块，被配置为从所述带电粒子评估系统接收样品图像数据流，样品图像数据流包括表示样品的图像的一系列有序数据点，并且第一处理模块被配置为应用第一缺陷检测测试以选择样品图像数据流的子集作为第一选定数据，其中第一缺陷检测测试是与样品图像数据流的接收并行执行的局部化测试；以及第二处理模块，被配置为接收第一选定数据并应用第二缺陷检测测试以选择第一选定数据的子集作为第二选定数据。
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