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公开(公告)号:CN110809736B
公开(公告)日:2023-10-24
申请号:CN201880040335.2
申请日:2018-06-08
申请人: ASML荷兰有限公司
发明人: D·F·弗莱斯 , C·K·安德 , A·F·J·德格鲁特 , A·J·M·吉斯贝斯 , J·J·詹森 , 保罗·詹森 , J·H·克洛特韦克 , P·S·A·克纳彭 , E·库尔干诺娃 , M·P·梅热尔 , W·R·梅金克 , M·A·纳萨莱维奇 , A·W·诺滕博姆 , R·奥尔斯曼 , H·帕特尔 , 玛丽亚·皮特 , G·范德博世 , W·T·A·J·范登艾登 , 威廉·琼·范德赞德 , 彼得-詹·范兹沃勒 , J·P·M·B·沃缪伦 , W-P·福尔蒂森 , H·J·旺德杰姆 , A·N·兹德拉夫科夫
摘要: 本发明涉及一种表膜组件,所述表膜组件包括表膜框架,所述表膜框架限定表膜所附接到的表面。所述表膜组件包括一个或更多个三维膨胀结构,所述三维膨胀结构允许所述表膜在应力下膨胀。本发明还涉及一种用于图案形成装置的表膜组件,包括用于使得表膜朝向图案形成装置和远离图案形成装置移动的一个或更多个致动器。
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公开(公告)号:CN117348336A
公开(公告)日:2024-01-05
申请号:CN202311305385.8
申请日:2018-06-08
申请人: ASML荷兰有限公司
发明人: D·F·弗莱斯 , C·K·安德 , A·F·J·德格鲁特 , A·J·M·吉斯贝斯 , J·J·詹森 , 保罗·詹森 , J·H·克洛特韦克 , P·S·A·克纳彭 , E·库尔干诺娃 , M·P·梅热尔 , W·R·梅金克 , M·A·纳萨莱维奇 , A·W·诺滕博姆 , R·奥尔斯曼 , H·帕特尔 , 玛丽亚·皮特 , G·范德博世 , W·T·A·J·范登艾登 , 威廉·琼·范德赞德 , 彼得-詹·范兹沃勒 , J·P·M·B·沃缪伦 , W-P·福尔蒂森 , H·J·旺德杰姆 , A·N·兹德拉夫科夫
摘要: 本发明涉及一种表膜组件、一种制备表膜组件的方法、一种用于光刻设备的动态气锁以及一种光刻设备。所述表膜组件包括表膜框架,所述表膜框架限定表膜所附接到的表面。所述表膜组件包括一个或更多个三维膨胀结构,所述三维膨胀结构允许所述表膜在应力下膨胀。本发明还涉及一种用于图案形成装置的表膜组件,包括用于使得表膜朝向图案形成装置和远离图案形成装置移动的一个或更多个致动器。
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公开(公告)号:CN110809736A
公开(公告)日:2020-02-18
申请号:CN201880040335.2
申请日:2018-06-08
申请人: ASML荷兰有限公司
发明人: D·F·弗莱斯 , C·K·安德 , A·F·J·德格鲁特 , A·J·M·吉斯贝斯 , J·J·詹森 , 保罗·詹森 , J·H·克洛特韦克 , P·S·A·克纳彭 , E·库尔干诺娃 , M·P·梅热尔 , W·R·梅金克 , M·A·纳萨莱维奇 , A·W·诺滕博姆 , R·奥尔斯曼 , H·帕特尔 , 玛丽亚·皮特 , G·范德博世 , W·T·A·J·范登艾登 , 威廉·琼·范德赞德 , 彼得-詹·范兹沃勒 , J·P·M·B·沃缪伦 , W-P·福尔蒂森 , H·J·旺德杰姆 , A·N·兹德拉夫科夫
摘要: 本发明涉及一种表膜组件,所述表膜组件包括表膜框架,所述表膜框架限定表膜所附接到的表面。所述表膜组件包括一个或更多个三维膨胀结构,所述三维膨胀结构允许所述表膜在应力下膨胀。本发明还涉及一种用于图案形成装置的表膜组件,包括用于使得表膜朝向图案形成装置和远离图案形成装置移动的一个或更多个致动器。
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