公开(公告)号：CN119343697A

公开(公告)日：2025-01-21

申请号：CN202380043609.4

申请日：2023-05-04

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： P·O·斯普拉 ,  V·E·卡拉多 ,  H·A·迪伦 ,  范期翔 ,  M·D·陆 ,  W·T·特尔 ,  W·L·范迈罗 ,  叶芸伶 ,  尹炜华 ,  余奕贤 ,  孙岩 ,  M·J·基亚

IPC: G06T7/00 ,  H01J37/147 ,  H01J37/22

Abstract: 一种用于调整图像中的失真的系统、装置和方法。各实施例包括：获得多个图像；确定多个图像上的多个特征和与多个图像相对应的布局数据中的对应特征之间的对准差异；对该对准差异进行建模；以及使用建模来调整以下各项中的至少一项：与获得多个图像相对应的机器设置；或多个图像中的至少一个图像上的多个特征中的至少一个特征。