公开(公告)号：CN1760762A

公开(公告)日：2006-04-19

申请号：CN200510108562.9

申请日：2005-10-11

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： H·H·M·科西 ,  H·布特勒 ,  R·C·坤斯特 ,  H·K·范德肖特 ,  Y·K·M·德沃斯

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  G05D3/12 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/70725

摘要： 为了使平版印刷设备的图案支架或衬底台能够具有高加速度和高移动速度，该图案支架和衬底台之一由一个用于相当大的位移的驱动器支承，而省去一个用于精确安置的驱动器。该图案支架和衬底台中的另一个由一个驱动器组件支承，该组件包括一个用于精确安置的驱动器和一个用于相当大的位移的驱动器。通过提供这样一种控制系统而获得图案形成装置和衬底的精确对准，该控制系统适合于安置图案支架和衬底台中的另一个，使得图案支架和衬底台之一的定位误差受到另一个的安置的补偿。

公开(公告)号：CN100520592C

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200510108562.9

申请日：2005-10-11

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： H·H·M·科西 ,  H·布特勒 ,  R·C·坤斯特 ,  H·K·范德肖特 ,  Y·K·M·德沃斯

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  G05D3/12 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/70725

摘要： 为了使平版印刷设备的图案支架或衬底台能够具有高加速度和高移动速度，该图案支架和衬底台之一由一个用于相当大的位移的驱动器支承，而省去一个用于精确安置的驱动器。该图案支架和衬底台中的另一个由一个驱动器组件支承，该组件包括一个用于精确安置的驱动器和一个用于相当大的位移的驱动器。通过提供这样一种控制系统而获得图案形成装置和衬底的精确对准，该控制系统适合于安置图案支架和衬底台中的另一个，使得图案支架和衬底台之一的定位误差受到另一个的安置的补偿。