公开(公告)号：CN1945443B

公开(公告)日：2010-12-08

申请号：CN200610151710.X

申请日：2006-08-29

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： L·G·M·凯塞尔斯 ,  P·A·J·廷尼曼斯 ,  R·J·范恩格伦

IPC分类号： G03F7/20 ,  G06F17/30 ,  H01L21/00

CPC分类号： G03F7/70291 ,  G03F7/70508

摘要： 光刻设备包含调制辐射束的独立可控元件阵列、存储了由调制射束将要在衬底上形成的所需剂量的图案的压缩表示的压缩图案存储器和至少部分地对压缩表示进行解压缩的辞典解压缩器。辞典解压缩器包含外部辞典存储器、第一辞典解码器和第二辞典解码器，所述第一辞典解码器通过从外部辞典存储器中提取与包含在压缩表示中的对外部辞典存储器的引用相对应的图案数据的若干部分至少部分地解压缩至少部分压缩表示，并且所述第二辞典解码器具有内部辞典存储器，第二辞典解码器通过从内部辞典存储器中提取与包含在压缩表示中的对内部辞典存储器的引用相对应的图案数据的若干部分至少部分地解压缩至少部分压缩表示。

公开(公告)号：CN1945443A

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN200610151710.X

申请日：2006-08-29

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： L·G·M·凯塞尔斯 ,  P·A·J·廷尼曼斯 ,  R·J·范恩格伦

IPC分类号： G03F7/20 ,  G06F17/30 ,  H01L21/00

CPC分类号： G03F7/70291 ,  G03F7/70508

摘要： 光刻设备包含调制辐射束的独立可控元件阵列、存储了由调制射束将要在衬底上形成的所需剂量的图案的压缩表示的压缩图案存储器和至少部分地对压缩表示进行解压缩的辞典解压缩器。辞典解压缩器包含外部辞典存储器、第一辞典解码器和第二辞典解码器，所述第一辞典解码器通过从外部辞典存储器中提取与包含在压缩表示中的对外部辞典存储器的引用相对应的图案数据的若干部分至少部分地解压缩至少部分压缩表示，并且所述第二辞典解码器具有内部辞典存储器，第二辞典解码器通过从内部辞典存储器中提取与包含在压缩表示中的对内部辞典存储器的引用相对应的图案数据的若干部分至少部分地解压缩至少部分压缩表示。